定制高级朗缪尔探针,等离子体探针,等离子体诊断

HC-prb系列朗缪尔探针系统

等离子体诊断：HC-prb系列朗缪尔探针系统可以对主要的等离子体参数进行实时在线监测：

▲ 等离子体密度

▲ 电子温度

▲ 离子电流密度

▲ 等离子体电位

▲ 悬浮电位

▲ 电子能量分布函数（EEDF）

▲ 德拜长度

HC-prb系列朗缪尔探针系统基于虚拟仪器原理设计，简化了硬件结构，抗干扰性强，工作可靠，能够用于各种放电形式的等离子体诊断。其中HC-prb1型为通用型；HC-prb2型是双探针型，可适用于无极放电等离子体，对等离子体扰动小；HC-prb3型是三探针型，可用于等离子体快速诊断（可达亚微秒级）及等离子体参数实时监控； HC-prb-hmc型是谐波探针型，可用于绝缘薄膜沉积环境的等离子体诊断和等离子体参数实时监控； HC-prb-ems型是发射探针型，用于准确测量等离子体及鞘层内的空间电势。

基于虚拟仪器的朗缪尔探针等离子体诊断方法已申报国家发明专利。仪器已在国内外多家实验室和企业的等离子体设备上获得了应用。

HC-prb系列朗缪尔探针系统的软件界面友好，操作简便，诊断与数据处理全过程自动完成，不需要人工对数据进行处理和计算。图1、图2分别是探针系统的实物照片和结构示意图，图3是HC-prb1通用型探针的软件操作界面。

图1

图2

图3

一、功能用途

诊断获得等离子体离子密度和电子温度的时序变化。

二、配置及组成（硬件、软件、配件、备件、工具）

探针引管组件、真空接口、驱动单元、探针备件、示波器（自备）、工作软件、计算机。

三、技术指标

离子密度测量范围：10⁸~10¹³cm^-3；

电子温度测量范围：0.5~50eV；

测量时间分辨率：与所用示波器相同

四、环境约束

 放电气压<100 Pa；示波器、计算机对地悬浮。