、等级证书:国家计量器具形式许可A级
设计要点
射频发生器(RF)
(1)电路类型:电感反馈自激式振荡电路、同轴电缆输出、匹配调谐、取功率反馈信号,进行闭环自动控制
(2)工作频率:40.68MHz ± 0.05%
(3)频率稳定性:≤0.05%
(4)输出功率:800—1500W,自动调整
(5)输出功率稳定性:≤0.3%
(6)电磁场泄漏射强度:距机身20cm 处,电场强度E:<2 V / m
进样装置
(1)输出工作线圈:内径25mm 、3匝
(2)炬管:三同心型,外径20mm的石英炬管
(3)同轴型喷雾器:外径6mm
(4)双筒型雾室:外径34mm
(5)观测位置:垂直观测,可通过软件直观地调为
(6)氩气流量计规格和载气压力表规格:
1、等离子气流量计:(100-1000)L/h (1.6-16L/min)
2、辅助气流量计:(10-100)L/h (0.16-1.66L/min)
3、载气流量计:(10-100)L/h (0.16-1.66L/min)
4、载气稳压阀:(0-0.4Mpa)L/h
5、冷却水:水温:21-26℃ 流量>5L/min 水压>0.1Mpa 冷却水:电阻率>1MΩ
分光器
(1)光路:Czerny-Turner
(2)焦距:1000mm
(3)光栅规格:离子刻蚀全息光栅;刻线密度3600线/mm,刻线面积:80×110mm
(或刻线密度2400线/mm,刻线面积:80×110mm)
(4)线色散率倒数:0.26nm/mm
(5)分辨率:≤0.007nm(整个波段)
(6)扫描波长范围: 180-500nm,3600刻线/mm;
180-800nm,2400刻线/mm
(7)扫描步距:0.0004nm
(8)出射、入射狭缝:20μm×25μm
(9)反射镜规格:(78×105×16)mm
(10)透镜:φ30,1:1成像
(11)反射镜规格:凹型
(12)分光器恒温装置:34℃±0.5℃
测光装置
(1)光电倍增管规格:日本GXR212UH或R928
(2)光电倍增管负高压:200-1000V,自动调节,稳定性<0.01%
(3)光电倍增管电流测量范围:10-4~10-9A
(4)信号采集为V/F交换:1mV对应100Hz
(5)采样电路:使用国外高精密度运算放大器,使仪器的灵敏度和精确度大大提高
(6)仪器数据采集:通过串口与电脑连接,从而简化了电路使连接更加便捷
(7)测光方式:单、多元素顺序测量
![](http://item.yiqi.com/pic/ConPic/3/636225968840950000.png)