PS传感器,是采用独自的电容方式技术,实现高稳定·高分辨率·通用性的超精密非接触位移仪。广泛地被用于位移·振动·形状·位置检测等领域,作为追求性价比的通用性位移仪受到高评价。
还有,考虑地球环境的影响,任何产品都采用无铅·RoHS指令。
从研究开发到内置于半导体相关设备·电子设备,作为一个高性能工具的适用性,我们已经积累了许多经验。
可做其他非标传感探头。请联系给现地相关负责部门。
在DC24v或AC100v下工作,附有输出零复位功能,NEAR/FAR LED显示器,BNC模拟输出的单通道放大器。结构小型且具有全功能,可以使用在从研究开发到各种内置设备等各方面的应用。
■ 阵容广泛的标准测量量程30μm~1000μm
■ 如果是导体,材质不影响灵敏度的变化
■ 不受表面粗糙度的影响
■ 直线性精度很高:±0.05%以下
■ 低干扰:0.002%/FS(rms)以下
如右图所示,PS传感器,利用平板电容器的原理。如右图所示,可以用方程式
表示。C为极板之间的电容,ε为探针与对电极之间的诱导率,g为距离,A为ZX电极板的面积。如右图所示,通过交流恒流源驱动时,输出电压为:
输出是正比于所述测量间隙。
PS传感器,在防护电极与ZX电极具有相同电位下进行驱动时,通过ZX电极部分建立并行电场,获得高的直线性。
■ 放大器技术参数
具有用单键的操作使输出为零的复位功能,NEAR/FAR LED显示器,多通道动作功能等,通过一台可以应用于各种各样的用途。
型式 | PS-IA |
标准输出电压范围 | 0~10V |
输出终端 | BNC连接器 |
频率特性 | DC~1kHz |
使用温度范围 | 10~40℃ |
电源 | DC24V, 0.2A 或 AC100V(使用附属的AC适配器) |
外形尺寸 | 110W×30H×162Dmm |
重量 | 355g(仅本机) |
■ 标准探头技术参数
因探头内部不含电子电路,可使探头结构紧凑。真空对应等,也可对应特别订货。
型式 | 外径(mm) | 支距(μm) | 量程(μm) | 分辨率(nmrms) | 直线性(%) | 探头长度 | 电缆长度 |
△X□□-30 | 4 | 10 | 30 | 0.6 | ±0.05 | 5mm 10mm 30mm | 标准2m |
△X□□-50 | 10 | 50 | 1.0 |
△X□□-100 | 10 | 100 | 2.0 |
△Y□□-50 | 6 | 10 | 50 | 1.0 |
△Y□□-100 | 10 | 100 | 2.0 |
△Y□□-250 | 25 | 250 | 5.0 |
△Y□□-500 | 50 | 500 | 10 | ±0.1 |
△Z□□-500 | 12 | 50 | 500 | 10 | ±0.05 | 10mm 30mm |
△Z□□-1000 | 100 | 1000 | 20 | ±0.1 |
型号的△符号为传感器输出线位置选型,□□符号为探头长度(mm)选型