德国NanoFocus μsurf cylinder汽缸表面无损共聚焦显微镜检测系统是世界上唯一的一款专为测量汽缸内壁设计的非接触式三维表面测量仪，并拥有超高光学分辨率和Z全面广泛的三维表面形貌分析能力，被世界的汽车厂商所应用。
| 物镜倍数 | 10X | 20X | 50X |
| 单次测量面积（um） | 1100*1100 | 550*550 | 220*220 |
| NA值 | 0.3 | 0.45/0.6 | 0.8 |
| 工作距离（mm） | 10.1 | 3.1/0.9 | 1 |
| Z轴精度（nm） | 20 | <10 | <2 |
| XY轴精度（um） | 1.9 | 0.95 | 0.38 |
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