DVIA精密主动隔振光学平台具有非常的隔振性能,特别是在低频0.5Hz- 10Hz达到90%以上的隔振效率,隔振性能优异,广泛应用于扫描探针显微镜,原子力显微镜,扫面隧道显微镜,激光干涉仪 ,半导体检测设备,三维形貌分析仪和激光共聚焦显微镜等
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