产品简介:分子泵超高分辨镀膜,放大倍率可到30-60万倍也不会看到镀膜颗粒,适用于现阶段超高分辨场发射或双束电镜使用如FEI Nova,Megglen,Verios,Helios等; Hitachi
产品简介:分子泵超高分辨镀膜,放大倍率可到30-60万倍也不会看到镀膜颗粒,适用于现阶段超高分辨场发射或双束电镜使用如FEI Nova,Megglen,Verios,Helios等; Hitachi SU8000,SU8200,S4800,9000等; 7600F 7800F等; ZEISS Merlin,Ultra,Auriga;专利磁控冷态喷镀专利冷态镀膜设计使用真正的“平衡磁控管”没有等离子体电流在样品,在得到高分辨非晶镀膜层同时避免样品受到热损伤,对热损伤或辐照损伤敏感样品尤为适合广泛的镀层靶材选择特殊双极磁控管头设计和有效的气体离子处理使得208HR拥有广泛多种镀层靶材选择 全自动化设计自动的换气与泄气功能,溅射电流和电压通过磁控头的传感线监控,蒸发源作为反馈回路中的一部分被控制保证了均匀一致的膜厚,和的导电喷镀效果。 超高精度膜厚监控设计使用可选MTM-20全自动高分辨膜厚监控仪可优化设计镀膜条件达到0.1nm膜厚可控效果 多用途样品托设计独立的旋转,水平和倾斜 3轴移动设计优化了多样品以及不规则样品的均匀一直镀膜?可变的样品室几何设计为了优化镀层结构样品室几何设计可用于调整喷镀速度从1.0纳米每秒到0.002纳米每秒 广泛的操作气体压力独立的电压,电流以及压力回路控制系统允许可操作氩气压力从0.2-0.005mbar真空度 紧凑型时尚桌面式设计节能,紧凑设计消除了对于楼层空间要求,水要求和专业电气连接要求镀膜不同多样样品超高分辨208HR镀膜系统现在针对喷镀不同电镜样品提供了理想的解决方案。为了减小喷镀晶粒尺寸影响,208HR提供一套全系列的镀膜靶材材料和前所未有的膜厚镀层控制条件。为了更小优化充电效果,208HR的特殊样品台设计和大范围的操作压力提供了高精度的镀膜一致性和统一性。 高低样品室的配置也提供了更为方便的工作距离调整。
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$n $n型号:JX163574高精度镀膜仪208HR | $n型号:JX163578电子束蒸发镀膜EBES | $n型号:JX163565电镜专用高真空镀膜仪208HR | $n
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型号:JX163574高精度镀膜仪208HR
208HR高分辨离子溅射仪为场发射扫描电镜应用中遇到的各种样品喷镀难题提供真正的解决方案。
场发射扫描电镜观察时,样品需镀上极其薄、无细晶且均匀的膜层以消除电荷积累,并提高低密度材料的对比度。为了将细晶的尺寸减小到小程度,208HR提供了一系列的镀膜材料,并对膜厚和溅射条件提供无可媲美的控制。
208HR分子涡轮泵高真空系统提供宽范围的操作压力,可以对膜层的均匀性和一致性进行控制,并减小充电效应。高/低样品室的结构设计使靶材和样品之间的距离调节变得极为方便。
MTM-20高分辨膜厚控制仪分辨率小于0.1nm,其作用是对所镀薄膜的厚度进行控制,它尤其适合场发射电镜对膜厚(0.5-3nm)的要求。
场发射扫描电镜镀膜推荐的靶材是:
Pt/Pd:非导电样品镀膜的通用镀膜材料
Cr:优良的半导体样品的镀膜材料
Ir:优良的真正无细晶的镀膜材料
208HR系统为得到高分辨镀膜效果提供了多种配置选择,可配备标准的旋片泵或提供干净真空的无油涡旋式真空泵,标配的208HR包含Cr 和 Pt/Pd靶。
一、主要特性
· 可选择多种镀膜材料
· 的膜厚控制
· 样品台控制灵活:可对样品台进行独立的旋转、行星式转动、倾斜控制,保证形貌差异大的样品也能得到的镀膜效果。
· 多个样品座:提供4个样品座,每个样品座直径32mm,可装载多达6个小样品座。
· 样品室几何可变: 样品室几何用于调节镀膜的速率(1.0nm/s ~ 0.002nm/s)
· 宽范围的操作压力:独立的功率和压力调节,氩气的压力大小范围为0.2 - 0.005 mbar。
· 紧凑、现代的桌上型设计
· 操作容易
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镀膜机
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高精度镀膜仪208HR
型号:JX163578电子束蒸发镀膜EBES
矽碁电子束蒸发系统简介
矽碁电子束蒸发系统是专为实验室科学研究开发设计,系统灵活,高度可定制化,可实现共蒸镀等功能。
系统基本规格
腔体真空度可达<10-7Torr
基板旋转速度可调
全自动镀膜,工业级操作软件
可实现共蒸镀制程
电脑即时监控系统运作状况(真空度,基板温度,镀率,膜厚...)
可选项
可选用turbo/cryo/diffusion泵浦
坩埚选择(1//2/4/6)
传送机构(Load-Lock System)
手套箱连接
镀膜基板冷却
镀膜基板加热(800℃)
可结合其他制程设备以达到双腔、Cluster(枚叶式)或In-line(连续式)制程需求
应用范围
LIFT-OFF制程应用
光电组件(发光/镭射二极管)
通讯组件
半导体组件
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镀膜机
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电子束蒸发镀膜EBES
型号:JX163565电镜专用高真空镀膜仪208HR
分子泵超高分辨镀膜,放大倍率可到30-60万倍也不会看到镀膜颗粒,适用于现阶段超高分辨场发射或双束电镜使用如FEI Nova,Megglen,Verios,Helios等; Hitachi SU8000,SU8200,S4800,9000等; 7600F 7800F等; ZEISS Merlin,Ultra,Auriga;
专利磁控冷态喷镀
专利冷态镀膜设计使用真正的“平衡磁控管”没有等离子体电流在样品,在得到高分辨非晶镀膜层同时避免样品受到热损伤,对热损伤或辐照损伤敏感样品尤为适合
广泛的镀层靶材选择
特殊双极磁控管头设计和有效的气体离子处理使得208HR拥有广泛多种镀层靶材选择
全自动化设计
自动的换气与泄气功能,溅射电流和电压通过磁控头的传感线监控,蒸发源作为反馈回路中的一部分被控制保证了均匀一致的膜厚,和的导电喷镀效果。
超高精度膜厚监控设计
使用可选MTM-20全自动高分辨膜厚监控仪可优化设计镀膜条件达到0.1nm膜厚可控效果
多用途样品托设计
独立的旋转,水平和倾斜 3轴移动设计优化了多样品以及不规则样品的均匀一直镀膜
?可变的样品室几何设计
为了优化镀层结构样品室几何设计可用于调整喷镀速度从1.0纳米每秒到0.002纳米每秒
广泛的操作气体压力
独立的电压,电流以及压力回路控制系统允许可操作氩气压力从0.2-0.005mbar真空度
紧凑型时尚桌面式设计
节能,紧凑设计消除了对于楼层空间要求,水要求和专业电气连接要求
镀膜不同多样样品
超高分辨208HR镀膜系统现在针对喷镀不同电镜样品提供了理想的解决方案。为了减小喷镀晶粒尺寸影响,208HR提供一套全系列的镀膜靶材材料和前所未有的膜厚镀层控制条件。为了更小优化充电效果,208HR的特殊样品台设计和大范围的操作压力提供了高精度的镀膜一致性和统一性。 高低样品室的配置也提供了更为方便的工作距离调整。
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镀膜机
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电镜专用高真空镀膜仪208HR
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