上海伯东供应HVA 矩形板阀 28200＆88200 系列_详细资料

产品信息

28200＆88200系列矩形板阀是采用了直连驱动技术的接口阀，可靠使用寿命超过1百万次。HVA闸板阀专用于真空相关系统，起隔绝真空压力的作用。

28200＆88200系列矩形真空板阀
28200＆88200系列矩形板阀是采用了直连驱动技术的接口阀，可靠使用寿命超过1百万次。HVA闸板阀专用于真空相关系统，起隔绝真空压力的作用。HVA真空闸板阀外形尺寸小，设计紧凑，可靠应用于生产线与过渡腔室（load-lock chamber），过渡腔室（load-lock chamber）与传输系统（handling system），传输系统（handling system）与工艺腔室（process chamber）等等，需要分隔真空压力的地方。

28200＆88200系列矩形真空板阀产品特点
1. 超百万次可靠运行寿命
2. 不产生粉末，颗粒，防尘设计
3. 阀动作平稳,振动和冲击小
4. 标准接口，或按客户要求定制
5. 阀体材料经过1E-6Torr,1100℃真空铜焊处理
6. 适用于1E-9Torr,200℃条件下

28200＆88200系列矩形真空板阀技术参数

连接形式：

标准或定制法兰

主体材料：

304 不锈钢/ AM-350

公称通径：

DN32*222 mm-DN50*336

DN32*222 mm-DN100*1250

漏率:

2x10E-9 AtmCC/Sec

压力范围:

1x10E-9 Torr

烘烤温度:

《150℃

适用介质：

水、蒸汽、空气

密封形式：

软密封型

驱动方式：

气动

使用寿命:

1000000 启闭次数

28200＆88200系列矩形真空板阀订货号及2D & 3D 图

DN

Model

　

　

mm

inch

Number

J (Bolted Body)

K (Clamped Body)

32 x 220

1.26 x 8.74

28212-0109RX_

2D

3D

Quote

2D

3D

Quote

32 x 332

1.26 x 13.07

28212-0113RX_

2D

3D

Quote

2D

3D

Quote

46 x 236

1.81 x 9.29

28212-0209RX_

2D

3D

Quote

2D

3D

Quote

50 x 336

1.97 x 13.23

28212-0213RX_

2D

3D

Quote

2D

3D

Quote

28200＆88200系列矩形真空板阀部件图

连接形式：	标准或定制法兰
主体材料：	304 不锈钢/ AM-350
公称通径：	DN32222 mm-DN50336 DN32222 mm-DN1001250
漏率:	2x10E-9 AtmCC/Sec
压力范围:	1x10E-9 Torr
烘烤温度:	《150℃
适用介质：	水、蒸汽、空气
密封形式：	软密封型
驱动方式：	气动
使用寿命:	1000000 启闭次数

DN	Model
mm	inch	Number	J (Bolted Body)	K (Clamped Body)
32 x 220	1.26 x 8.74	28212-0109RX_	2D	3D	Quote	2D	3D	Quote
32 x 332	1.26 x 13.07	28212-0113RX_	2D	3D	Quote	2D	3D	Quote
46 x 236	1.81 x 9.29	28212-0209RX_	2D	3D	Quote	2D	3D	Quote
50 x 336	1.97 x 13.23	28212-0213RX_	2D	3D	Quote	2D	3D	Quote

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