行程达±17 毫米 / ±21度负载容量达5 公斤重复精度达±0.06 微米速度达20 毫米/秒超长使用寿命可提供真空兼容版本六自由度并联运动设计使其比串联运动系统更加紧凑、更具刚性,动态范围更大,无移动电缆:更稳定、摩擦更小 真空兼容型可达10-6百帕.应用领域科研和工业,标准和真空环境。用于微制造、医药技术、刀具检查。
主动轴
X,Y,Z,θX,θY,θZ
X、Y向上的行程*
±17, ±16
毫米
Z向上的行程*
±6.5
θX、θY向上的行程*
±10, ±10
°
θZ向上的行程*
±21
促动器设计分辨率
5
纳米
X、Y向上的Z小位移
0.2
微米
典型值
Z向上的Z小位移
0.08
θX、θY向上的Z小位移
2.5
微弧度
θZ向上的Z小位移
X、Y向上的空回
Z向上的空回
0.06
θX、θY向上的空回
2
θZ向上的空回
4
X、Y向上的重复精度
±0.15
Z向上的重复精度
±0.06
θX、θY向上的重复精度
±2
θZ向上的重复精度
±3
X、Y和Z向上的速度
20 / 10
毫米/秒
θX、θY、θZ向上的速度
500 / 250
毫弧度/秒
Typ. X、Y和Z向上的典型速度
10 / 5
Typ. θX、θY、θZ向上的速度
240 / 120
X、Y向上的刚性
0.7
牛/微米
Z向上的刚性
8
负载能力(底板为水平方向)
千克
负载能力(底板为任意方向)
保持力(断电、底板为水平方向)
15
牛
保持力(断电、底板为任意方向)
电机类型
BLDC电机
工作温度范围
0 到 50
°C
材料
不锈钢,铝
质量
2.2
±5 %
电缆长度
0.5+3/3(空气)+2(真空)
米
±10 毫米
推荐控制器
C-887.5x
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