该清洗机内置高纯石英仓体,容积为2升,石英腔体内部焊有挡板。通过腔体旋转使样品颗粒不停运动,使颗粒360°暴露在等离子体能量中达到均匀清洗目的
供电电源 AC220V(AC110V可选)
工作电流 整机工作电流不大于3.(不含真空泵)
射频电源功率 150W
射频频率 13.56MHz
频率偏移量 <0.2MHz
特性阻抗 50欧姆,手动匹配
耦合方式 感应耦合式(线圈耦合)
真空度 ≤100Pa
腔体材质 高纯石英
腔体容积 2L(内径100MMX深度300MM)
密封方式 真空法兰密封
滚筒转速 0-100转可调
转速显示 LED数码管
倒料倾斜角度 60°
气体流量 10—600ml/min(其他量程可选)
过程控制 手动控制
清洗时间 定时器
开盖方式 铰链侧开式法兰
外形尺寸 400x380x360mm
重量 65Kg
真空室温度 小于65°C
冷却方式 强制风冷
标配 KF16波纹管1米,kf16卡箍2个,电源线一根,说明书一本。
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