晶圆无氧烘箱,蓝宝石厌氧烘箱是一种提供高温净化环境的特殊洁净烘干设备。烘箱整机为不锈钢结构,全部采用无尘材料,箱内持续充氮,使烘箱工作室内处于洁净状态。工作室内温度由温控仪自动控制,并有自动恒温及时间控制装置,并附设有超温自动停电及报警电路,控制可靠,使用安全
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