晶圆无氧烘箱,蓝宝石厌氧烘箱是一种提供高温净化环境的特殊洁净烘干设备。烘箱整机为不锈钢结构,全部采用无尘材料,箱内持续充氮,使烘箱工作室内处于洁净状态。工作室内温度由温控仪自动控制,并有自动恒温及时间控制装置,并附设有超温自动停电及报警电路,控制可靠,使用安全
晶圆无氧烘箱,蓝宝石厌氧烘箱简介:
充氮厌氧烘箱是一种提供高温净化环境的特殊洁净烘干设备。烘箱整机为不锈钢结构,全部采用无尘材料,箱内持续充氮,使烘箱工作室内处于洁净状态。工作室内温度由温控仪自动控制,并有自动恒温及时间控制装置,并附设有超温自动停电及报警电路,控制可靠,使用安全。晶圆无氧烘箱,蓝宝石厌氧烘箱特点1、全周氩焊,耐高温硅胶迫紧,SUS304#不锈钢电热产生器,防机台本身产生微尘;2、耐高温,可以达到和工作场同样的地洁净等级;GB/T11158-1989高温试验箱技术条件 GB2423.2-1989试验B洁净烘箱适用于电子液晶显示、LCD、CMOS、IC、医药、实验室等生产及科研部门。 洁净烘箱也可用于非挥发性及非易燃易爆物品的干燥、热处理、老化等其它高温试验。晶圆无氧烘箱,蓝宝石厌氧烘箱技术参数:1.名称:充氮厌氧烘箱 2、主要技术指标:2.1温度范围: RT(室温)+10~ +200℃;2.2温度偏差:≤±2.0℃;2.3升温速度:≥5℃/min(全程平均);2.4工作尺寸:W800×H800×D1000mm2.5电源:AC380V 50HZ 12KW 晶圆无氧烘箱,蓝宝石厌氧烘箱结构:3.1箱体材料:外箱采用优质磁性拉丝不锈钢;3.2内室材料:采用SUS304#无磁性镜面不锈钢;3.3保温材料:超细玻璃棉; 3.4排 气 口:ф50;3.5 隔 板:2层,不锈钢方通,承重约30KG;3.6空气循环装置:大容量轴流电机;3.7加热方式:不锈钢电加热器;晶圆无氧烘箱,蓝宝石厌氧烘箱控系统4.1温度测量传感器:Pt100 铂电阻;4.2控制仪表:进口数显温度控制器,PID调节,控制精度0.1℃;4.3超温保护仪表:独立于工作室主控制的超温保护系统,保证试验品的安全;4.4控制系统:主要电器件均采用斯耐德、欧姆龙等进口元气件;