无尘洁净烘箱，晶圆预烘烘箱，软烤烘箱

名称：CLASS100洁净烘箱EHC-270
一、技术参数：
无尘等级：CLASS 100
温度范围：60~300
温度均匀性：±1.5%
温度分辨率：0.1℃
内部尺寸：W600*D500*H900
外部尺寸：W950*D1240*H1810
电源：AC 380V 50HZ
功率：11KW
二、应用：EHC型CLASS100洁净烘箱适用于晶圆片清洗之后的硬烤，软烤，电子液晶显示、LCD、CMOS、IS、医药、实验室等生产及科研部门，也可用于非挥发性及非易燃易爆物品的干燥、热处理、老化等其他高温试验。
产品特点：
1.高洁净度CLASS100设计要求，能够在普通环境下实现烘箱内部洁净度达到CLASS100，采用独特的内外舱分体结构结合循环风道设计，使烘烤区形成热量均匀的循环过滤系统，不断过滤微尘颗粒，快速实现CLASS100高洁净度要求。
2.外壳采用SS41# 中碳钢板经磷酸皮膜盐处理后两层防光面涂装烤漆，可防止微尘；
2.内胆采用2mm厚进口SUS304镜面不锈钢，满焊一体化工艺，经无尘化处理，耐高温防震密封胶条，SUS304不锈钢无尘电热发生器，低噪音大功率马达，机台震动小，箱内在烘烤过程中无颗粒产生。
3.GX过滤系统：采用欧洲进口H.E.P.A Filter耐高温超GX空气过滤器，过滤效率99.99%，耐温350℃.，配置美国德威尔品Pai内外仓压差计，监控过滤器工作状态。
4.温控系统：采用日本欧姆龙PID智能温控器，控温JZ，过冲小，操作简便，带超温保护，温度超标自动切断加热，并发出警报。可根据需要升级至多段温度程序控制温控器。
5.安全保护措施：电器控制系统自带漏电电路器，控制线路保险丝，超温防止保护装置，马达过热过载保护装置，电源欠压相序保护装置，门禁系统。
选购件：
1.可程式温度控制器，实现多段温度曲线升温。
2.多点温度记录仪，可选有纸打印和无纸记录型。
3.三色状态指示灯
4.烘烤托架