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    标题：KeyFactor晶圆探针台 I-V/C-V, RF测试测量探针台

     标题：KeyFactor晶圆探针台 I-V/C-V, RF测试测量探针台

     

    产品描述：

    模块化系统设计，可配置多种测试测量方案。常用于基础I-V／C-V测量，脉冲I-V测量，高精度I-V／C-V测量，RF、mmW（微波）测试测量。

     

    以下为部分参数，详细参数及方案请联系：sales@keyfactorsystems.com/18925408866-许先生「键德测试测量系统（东莞）有限公司」

     

    Chuck

     

    Diameter

    2" to 6"

    Material

    Stainless Steel

    Plating

    N.A.

    Planarity

    <5µm@Ambient Temperature

     

    Measurement Accuracy (Electrical)

     

    Part #

    Range

    Accuracy

    BasicI-V

    1μA

    rdg+10nA

    COAX

    1nA

    rdg+10pA

    COAX-PIV

    1nA

    rdg+10pA

    TRIAX

    10pA

    rdg+100fA

    TRIAX-FemtoProbe

    1～10pA

    rdg+10fA

     

     

     


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    信息说明

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