深圳市森东宝科技有限公司(Cindbest)是香港森东宝国际有限公司在大陆的全资子公司,自主研发CINDBEST品牌探针台、激光修复仪、集代理半导体测试仪表的综合型厂家。
设备名称
技术指标
1、探针台台体
CL-6
• 6" 卡盘,采用ZX吸附孔和3圈吸附环固定样品,分别由3个开关独立控制
• 卡盘X-Y的移动范围 6''X6'',移动精度:10微米
• 卡盘可以 360 度旋转,细调精度不大于 0.1 度,带有锁定旋钮
• Chuck 漏电低于 100fA , 平坦度误差小于 5um 。
• Chuck 镀金,用于做背电极,可以进行双面测试
• 卡盘台可以上下快速升降4mm,便于样品快速分离探针
• 显微镜环绕立柱旋转式设计,便于快速移动显微镜, 显微镜移动范围覆盖样品台
• 可调节显微镜在 X-Y 平面4" x 4" 范围内移动,精度1微米(此项行程升级为4寸,系统不包含显微镜)
2、体视显微镜 CB-M
• 变焦: 0.8 倍 ~5 倍 , 总放大倍率: 16 倍 ~200 倍
• 双目观察倾斜 45 度,双瞳距调节范围 52-75mm
• 显微镜在 X , Y , Z 轴方向的调节范围: > 50.8mm ,调节精度小于 10 微米
• 工作距离:115mm 变倍比:1:6.7
• 带 CCD 接口和 0.4X C-mount
• Z小分辨率2um
3、高压大电流探针座
GVDI-40
• 磁力开关底座
• 线性,无后座力移动
• 探头接口和线缆45度连接,无需L型转接头
• X-Y-Z 方向的移动行程分别为 13mm
• 精度2微米
• 调节架可进行30度以内的角度调节
• 高压大电流测试适用
4、SHV高压夹具
• 漏电精度低于1pA
• 大电流10A,高压2kv(不能同时达到)
• 2.1m线缆(铜管TubulerType)接头和客户设备配
• 50Ω阻抗,测试频率直流-100Mhz
(与浙江五强晶体管特性图示仪配套使用)
5、SHV高压大电流探针
• 电流范围0-10A
• 电压范围0-2kV
• 2kV时,电流需控制在10mA以内
• 电流10A时,电压不能超过5v
• 漏电精度100fA
6、真空泵
VP0125
• 可24小时连续工作
• 静音无油真空泵 7 升/分钟
• 体积小巧
(可选项)
7、屏蔽箱
• 有效屏蔽信号干扰和漏电,提升测试精度
• 防止意外触电
8、固定支座
• 880*580*700mm,阻尼抗震
• 承重 300kg左右
9、面包板
• 1200*600*50mm
• 蜂窝型板
• 孔距25mm,孔径M6
• 表面粗糙度:<2um
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