项目
参数
晶锭直径
2~8英寸
晶锭Z大长度
500
测定晶面(硅)
111,100
定向精度
±30″
Z小读数
1″
晶锭与料板Z大转角(α)
±10°
料板Z大长度
料板宽度
70,100
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