仪器型号
VMS—2515
工作台
金属台面尺寸(mm)
450×320
玻璃台面尺寸(mm)
300×200
运动行程(mm)
250×150
仪器重量(mm)
180
外行尺寸长×宽×高(mm)
750×500×920
Z轴升降行程:150mm
工作距离:95mm
X、Y、Z数据显解析度:0.5um
影像系统
摄像机:彩色1/3″CCD摄像机视频倍率:33-195X
变倍物镜倍率:0.7X-4.5X
物方现场:8.1-1.3mm(物方现场为对角线的长度)
表面光源与透射光源LED,亮度可调
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