名稱
參數
工
作
台
金屬臺面尺寸(mm)
450×320
方形玻璃臺面尺寸:(mm)
320X220
X座標行程:(mm)
300
Y座標行程:(mm)
200
儀器外形尺寸(長)Х(寬)Х(高) mm:
480Х650Х1000
儀器重量(kg):
Z座標升降行程:(mm):170(調焦)工作距離(mm):95
X/Y/Z數顯解析度:0.0005mm(0.5um) X、Y坐標示值誤差:≤(3+L/200)μm
影
像
系
統
攝影機:彩色1/3″CCD攝影機(日本索尼芯片 540线高分辨率工业摄像机)
變焦物鏡倍率:0.7~4.5X(美国定格变倍,无需每次校准)
視頻總倍率:30X~230X
物方視場:7~1.1mm
傳動型式:X、Y、Z軸均採用馬達驅動滾珠絲杆傳動的型式
電腦自動採樣,端口輸出,專業軟體進行資料分析處理
X、Y轴马达运动速度<120mm/s Z轴马达运动速度<60 mm/s
马达运动步长0.4 mm/步 马达分辨率1000步/转
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