公司介绍
深圳市森东宝科技有限公司(Cindbest)是香港森东宝国际有限公司在大陆的全资子公司,自主研发CINDBEST品Pai探针台、激光修复仪、集代理半导体测试仪表的综合型厂家。
激光修复仪类型:32寸半自动、32寸手动、70寸半自动、70寸手动激光修复仪。
CINDBEST探针台类型:普通晶圆测试探针台、太阳能电池测试探针台、积分球探针台、IGBT高压大电流探针台、磁场探针台、高低温探针台、气敏分析探针台、低温真空探针台、手套箱内探针台。
探针台配件:金相显微镜、三丰显微镜、体式显微镜、样品加热变温台、防震桌、屏蔽箱、三轴调节探针座、RF四维探针座、高频探针夹具、管状同轴夹具、管状三轴夹具、弹簧同轴夹具、弹簧三轴夹具、钨探针(硬探针、软探针)、GGB高频探针等各类探针台配件。
产品简介
IGBT高压大电流探针台规格如下:
卡盘
• 6" 卡盘,采用ZX吸附孔和3圈吸附环固定样品,分别由3个开关独立控制
• 卡盘X-Y的移动范围 6''X6'',移动精度:10微米
• 卡盘可以 360 度旋转,细调精度不大于 0.1 度,带有锁定旋钮
• Chuck 漏电低于 100fA , 平坦度误差小于 5um 。
• Chuck 镀金,用于做背电极,可以进行双面测试
• 卡盘台可以上下快速升降4mm,便于样品快速分离探针
配件
进口高压大电流探针座
• 精度2微米
• 调节架可进行30度以内的角度调节
• 高压大电流测试适用
SHV高压夹具
• 2.1m线缆(铜管TubulerType)接头和客户设备配
• 50Ω阻抗,测试频率直流-100Mhz
SHV高压大电流探针
• 电流范围0-10A
• 电压范围0-2kV
• 漏电精度100fA
配备屏蔽箱
• 有效屏蔽信号干扰和漏电,提升测试精度
• 防止意外触电
探针台的使用方法
1、 将样品载入真空卡盘,开启真空阀门控制开关,使样品安全且牢固地吸附在卡盘上。
2、 使用卡盘X轴/Y轴控制旋钮移动卡盘平台,在显微镜低倍物镜聚焦下看清楚样品。
3、 使用卡盘X轴/Y轴控制旋钮移动卡盘平台将样品待测试点移动至显微镜下。
4、 显微镜切换为高倍率物镜,在大倍率下找到待测点,再微调显微镜聚焦和样品x-y,将影像调节清晰,带测点在显微镜视场ZX。
5、 待测点位置确认好后,再调节探针座的位置,将探针装上后可眼观先将探针移到接近待测点的位置旁边,再使用探针座X-Y-Z三个微调旋钮,慢慢的将探针移至被测点,此时动作要小心且缓慢,以防动作过大误伤芯片,当探针针尖悬空于被测点上空时,可先用Y轴旋钮将探针退后少许,再使用Z轴旋钮进行下针,则使用X轴旋钮左右滑动,观察是否有少许划痕,证明是否已经接触。
6、 确保针尖和被测点接触良好后,则可以通过连接的测试设备开始测试。
常见问题
当您使用本仪器时,可能会碰到一些问题,下表列举了常见的故障及解决方法。
症状 | 可能原因 | 解决方法 |
移动样品后画面变模糊 | 显微镜不垂直 | 调垂直显微镜 |
样品台不水平 | 调水平样品台 |
样品不平 | |
显微镜视场亮度不足,边缘切割或看不到像 | 转换器不在定位位置上 | 把转换器转到定位位置上 |
管镜转盘不在定位位置上 | 把管镜转盘转到定位位置上 |
照明的亮度不足 | 调节光源亮度或者把孔径光栏孔调大 |
没有装目镜 | 装上目镜 |
没有装物镜 | 装上物镜 |
显微镜像质变差 | 目镜脏 物镜脏 管镜脏 | 对目镜,物镜,管镜脏的地方进行清洁 |
孔径光栏关的太大或者太小 | 调节孔径光栏 |
没有调好焦 | 调节调焦手轮 |
样本上盖有盖玻片等介质 | 移开盖玻片等介质 |
图像一边清晰,一边模糊 | 样本倾斜放置 | 放平样本,或者调节样品台水平 |
物镜没有旋紧 | 旋紧物镜 |
眼睛容易疲劳 | 双目头的瞳距和操作者不匹配 | 调节双目头的瞳距 |
| 目镜视度调节不正确 | 调节目镜视度 |
| 照明亮度不合适 | 调节光源亮度或者孔径光栏孔 |
品质保证CINDBEST(森东宝)
探针台类型
普通晶圆测试探针台、太阳能电池测试探针台、积分球探针台、IGBT高压大电流探针台、磁场探针台、高低温探针台、气敏分析探针台、低温真空探针台、手套箱内探针台、半自动探针台;
售前:cindbest有专业技术团队,为客户进行客制化的一对一的测试设计,保证设备测试要求达到效果,满足客户对设备性能的一切要求。
售后:cindbest承诺电话响应时间不超过2小时,电话沟通人不能解决的前提下,24小时内工程师上门服务,cindbest设备有一年免费质保期,特殊设备有其他特制服务。
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注: 站内直接留言,我司不予回复!!!
如需更多详细参数,请联系森东宝,森东宝将竭诚为您服务,定给您提供一款Z适合的探针测试设备。