微区分析能量色散X射线荧光光谱仪

德国斯派克分析仪器推出的 SPECTRO MIDEX M 多功能X射线荧光光谱仪
（XRMF）适合于微小样品及微小区域的元素分析，分析样品的形态可以为
固体或液体，分析过程对样品没有损害。仪器的样品台采用XYZ三轴步进
马达驱动，可对大到250＊250mm(10＊10"样品的表面进行线性扫描和元素
分布分析。专门设计的样品室，可适用于超大尺寸的样品分析，可在三个
不同的方向观测样品。样品台可以整体拉出，便于调节样品位置。
仪器内设有大倍率变焦双摄像系统，可准确地确定测量位置。
仪器可以锁定样品的某个点或表面某个区域，然后进行扫描分析。
SPECTRO MIDEX M配有独特的软件可评估测量点，并将所选定样品
区域内的元素成分以图表形式显示出来。