250升以上纯水制备
硅片的生产离不开纯水,硅片的研磨,抛光,化学腐蚀等各个环节均需纯水进行清洗,水的纯度直接影响着硅产品的质量好坏。我公司研发的250升以上纯水设备可以满足太阳光硅生产的需要,为您提供可靠的纯水供应。
功能特点
采用离子交换法制备纯水,可以对自来水以及地下水进行纯水处理;每小时出水量250升以上;符合GB/T 11446.1--1997标准。
技术参数
■ 入水为自来水或地下水均可;
■ 出水量在250升/小时以上以满足工业生产需要;
■ 出水量以及出水级别可根据需求进行定制;
■ 规格如下(符合国标要求):
指标\级别 EW-I
EW-II EW-III EW-IV
电阻率/MΩ.cm 18以上,(95%时间)不低于17 15以上,(95%时间)不低于13 12.0 0.5
硅(Z大值)/(μg/L) 2 10 50 1000
1μm微粒数(Z大值)/(个/mL) 0.1 5 10 500
细菌个数(Z大值)/(个/mL) 0.01 0.1 10 100
铜(Z大值)/(μg/L) 0.2 1 2 500
锌(Z大值)/(μg/L) 0.2 1 5 500
镍(Z大值)/(μg/L) 0.1 1 2 500
钠(Z大值)/(μg/L) 0.5 2 5 1000
钾(Z大值)/(μg/L) 0.5 2 5 500
氯(Z大值)/(μg/L) 1 1 10 1000
硝酸根(Z大值)/(μg/L) 1 1 5 500
磷酸根(Z大值)/(μg/L) 1 1 5 500
硫酸根(Z大值)/(μg/L) 1 1 5 500
总有机酸(Z大值)/(μg/L) 20 100 200