蓝宝石衬底台阶仪及干涉仪对蚀刻图形化后的蓝宝石衬底进行测量结合常规的台阶仪和扫描探针显微镜技术长程扫描：Z大100 mm短程扫描：采用精确的压电陶瓷驱动扫描模式，三维扫描范围从10μm X 10μm 到500μm X 500μm，适合台 阶小或特征小的台阶■ 不用额外付费，提供3D 测量软件■ 测量数据兼容功能强大的SPIP 分析软件■ 扫描头精心设计，避免因意外触碰引致的损坏■ 实时力量监控: 0.1 - 100 mg■ 同时可选台阶仪和光学轮廓仪的功能，节省空间■ 探针测量采用高精度的光学传感器
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