1概览
Increase your productivity with our powerfully versatile atomic force microscope
Park XE15具有众多的独特功能,是处理多种样品的共享实验室、进行多变量实验的研究院以及晶片故障分析工程师的佳选择。同时,合理的价格和稳健的功能使之成为业内Z超值的大型样品原子力显微镜之一。
Unique MultiSample™ scan boosts research productivity
Park XE15原子力显微镜能够一次性扫描和测量多个样品,让您的效率一高再高。您只需要将样品放入工作台,再启动扫描程序便可。该功能也可以让您在相同的环境条件下扫描样品,从而提高数据的精确性和稳定性。
Large sample size increases possibilities
Park XE15原子力显微镜与大多数的原子力显微镜不同,Park XE15可扫描尺寸为200 mm x 200 mm的样品。这样既满足了研究员对扫描大样品的需求,也让故障分析工程师能够扫描硅片。
Features adaptable to any need
Park XE15配有绝大多数的扫描模式,可扫描各种尺寸的样品。得益于此,Park XE15是共用实验室的佳配置,能够满足每个人的需求。
2技术信息
The most convenient sample measurements with MultiSample™ scan
Park XE15 MultiSample™ scan system
• 一次性自动多样品成像
• 特别设计的多样品卡盘,可装载多达16个样品
• 全机动XY轴样品台,行程范围达150 mm x 150 mm
借助电动样品台,MultiSample™扫描模式能够允许用户自行编程,借助自动化步进扫描,实现多区域成像。
流程如下:
1.记录用户定义的多个扫描位置
2.在个扫描位置成像
3.提升悬臂
4.将电动样品台移至下一个用户定义坐标
5.探针接近
6.重复扫描
记录多个扫描位置十分简单,您可以输入样品-样品台坐标或使用两个参考点校正样品位置。该自动化功能大大减少您在扫描过程中需要的工作,极大提高了生产力。