Park原子力显微镜XE15具备多个特殊功能,是共享实验室处理各类样品、研究员进行多变量实验、失效分析师研究晶片等的不二选择。合理的价格搭配强健的性能设置,使其成为业内性价比的大型样品原子力显微镜。
Park原子力显微镜XE15MultiSample™(多重采样TM)扫描器带来Z便捷样品测量
- 多样品一次性自动成像
- 特殊设计的多样品夹头,Z多可承载16个独立样品
- 全自动XY样品载台,行程范围达200 mm x 200 mm。
无轴间耦合提高扫描精度
- 两种独立闭环XY和Z平板式扫描
- 平板式和线性XY扫描可达100μm x 100μm,且残余压弯小
- 整个扫描范围内的异面移动小于2nm
- QL扫描器达25μm Z扫描范围
- 精确的高度测量
Non-Contact™(真正非接触TM)模式延长针尖使用寿命、改善样品保存及精度
- 其Z扫描频宽是压电管基础系统的10倍
- 非接触式可降低针尖磨损、延长使用寿命
- 成像分辨率高于同类原子力显微镜
- 降低样品干扰,提高扫描精度
提供用户体验
- 开放式侧面接入,提高样品及针尖更换效率
- 预对准的针尖安装和独特的轴上俯视法可简单直观地实现激光对准
- 燕尾锁封片方便镜头拆卸
- 界面带自动设置功能,方便用户使用
多种模式与选项
- 综合性测量模式及特性设置,是我司通用型原子力显微镜
- 多种可选配件及更新,扩展性能优越
-? 为缺陷分析提供先进电气测
* 产品特点
100um x 100 um扫描范围的XY柔‘性导向扫描器
XY扫描器含系统二维弯曲及QL压电堆叠,可使极小平面外移动形成较大的正交运动,并能快速响应,实现精确的样品纳米级扫描。
柔性导向QLZ扫描器
在QL压电堆叠的驱动及弯曲结构的引导下,其硬度允许扫描器高速竖直运动,较传统原子力显微镜扫描器更加高速。Z型扫描范围搭配远程Z扫描器(选配)可延长12μm至25μm。