SAM 300 Quad超声波扫描显微镜

主要技术参数：

一  机械部分：

1. SAM 300 Quad超声波扫描显微镜X/Y 两轴均为超高速、线性马达驱动系统, X / Y 轴内置磁力机构；

2.SAM 300 Quad超声波扫描显微镜 配有防震系统与惯性平衡机构，隔绝在高速扫描过程中振动影响，确保图像不会因快速扫描而失真；

3. Z 轴行程大于100mm

4. Z轴自动对焦，不仅可以自动对焦到样品表面，而且同时还可对样品内部任意界面自动对焦; 逐层自动对焦可设定步距，Z-轴探头按步距从样品底部开始向上逐层扫描；

5. 4个探头同时扫描，扫描范围 > 320 mm × 320 mm；可自定义扫描区域，可任意输入或框选扫描面积（正方形，长方形，矩形）；同时还能自定义序列扫描，跳过没有样品的空白位置；可自动寻找被测样品的ZX位置和样品边缘尺寸，自动设定扫描范围；

6. 扫描速率：1,500 mm/s

7. 重复精度：+/- 0.1μm