主要扫描模式包括:A扫描(点扫描)、B扫描、C扫描、多层C扫描、在不同的Z高度进行连续的C扫描、多重门限扫描、透射扫描、托盘扫描、、顺序扫描、高清晰扫描、表面跟踪扫描、实体扫描模式等;透射扫描模式选件:Through Scan 透射扫描固定单元及接收探头;
主要技术参数:
一 机械部分:
1. SAM 402 超声波扫描显微镜X/Y 两轴均为超高速、线性马达驱动系统, X / Y 轴内置磁力机构;
2. SAM 402 超声波扫描显微镜配有防震系统与惯性平衡机构,隔绝在高速扫描过程中振动影响,确保图像不会因快速扫描而失真;
3. Z 轴行程大于100mm
4. Z轴自动对焦,不仅可以自动对焦到样品表面,而且同时还可对样品内部任意界面自动对焦; 逐层自动对焦可设定步距,Z-轴探头按步距从样品底部开始向上逐层扫描;
5. 双探头可同时扫描,每个探头扫描范围:Z小0.20 mm × 0.20 mm ; > 430 mm × 430 mm;可自定义扫描区域,可任意输入或框选扫描面积(正方形,长方形,矩形);同时还能自定义序列扫描,跳过没有样品的空白位置;可自动寻找被测样品的ZX位置和样品边缘尺寸,自动设定扫描范围;
6. 扫描速率:1,500 mm/s
7. 重复精度:+/- 0.1μm
8. 标准工作水槽尺寸:870 *670 * 70mm 或870 * 670 * 150mm 或定制加长工作水槽,配置工字形样品台
二 电子部分:
1. DPR 500 超声波接收和发射器频率带宽:500MHz
2. ADC卡采样频率:1G/秒
3. 前置放大器:L2,H2,H3