品牌
Edwards/英国爱德华
输送介质
其他
泵轴位置
其他
极限压力
0.1pa
叶轮数目
其他
抽气速率
277l/s
重量
430kg
排出口径
nw40mm
英国爱德华edwards iH1000 干式泵
概述Edwards 高级半导体真空泵已经过现场应用证明,可以按照工作标准运行。通过延长使用寿命、提高运行时间并提高生产率,同时减小占地面积、降低运行成本,实现了高的可靠性和性能。
iH 系列为难以执行的制程(如存在微粒、易冷凝和腐蚀性副产品的 PECVD 和 LPCVD 制程)提供了高可靠性。英国爱德华半导体干式真空泵iH1000维修
应用- 负载锁
- 输送
- 计量
- 平版印刷
- PVD 制程
- PVD 预清洁
- RTA
- 剥离/灰化
- 刻蚀
- 植入源
- HDP CVD
- RTP
- SACVD
- MCVD
- PECVD
- LPCVD
- ALD
功能和优势- 优化了设施消耗。
- 无需预防性维护。
- 悬臂轴和特殊的异型转子便于颗粒的处理。
- 在节省电机功率的同时提高了工作繁重的 CVD 应用条件下的稳定性。
- 耐腐蚀的制造材料允许泵送腐蚀性气体。
- 较高的工作温度为避免气体冷凝提供了充分的安全保证。
- 整体式轴杆无需使用电机联结器,而第五级泵消除了使用消音器的需要并消除了颗粒堆积,从而降低了总体占地面积。英国爱德华半导体干式真空泵iH1000维修
技术数据峰值速度 | 1000 m3h-1 |
| 589 cfm |
| 16670 l min-1 |
极限真空 | 1 x 10-3 mbar |
| 7.5 x 10-4 Torr |
| 0.1 Pa |
典型轴封氮流量 | 4 slm |
进气口连接 | ISO100 |
出口连接 | NW40 |
15 psi 压降下典型冷却水流量 | 240 l h-1 |
| 4 l min-1 |
重量 | 430 kg |
极限功率输入 | 3.8 kW |
电机额定功率 | 6.1 kW |
油容量 | 1.48 l |
所有数字均为无气镇时的典型值。

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