PEG100潘宁真空计 的详细介绍INFICON PEG100潘宁真空计提供可靠的高真空测量。坚固耐用的潘宁冷阴极传感器不会出现单丝烧毁的现象。 由于采用钛阴极板且等离子点火后高电压将会降低,潘宁真空计还可在溅射应用环境下运行。
现场总线选件以及对数模拟输出信号允许使用 Profibus DP 或 DeviceNet 协议,将真空计轻松集成到真空系统中。
PEG100潘宁真空计益处:测量范围广,从 1 x 10-9 至 1 x 10-2 毫巴(7.5 x 10-10 至 7.5 x 10-3 托)全金属冷阴极传感器(潘宁),带陶瓷馈入装置创新的电极几何形状提供的点火属性等离子点火后降低的高压和钛阴极板可减少污染危险,即使在有氩气的溅射运行中阳极环和钛阴极可轻松进行清洁或更换Z小化真空计附近的磁场强度用于电源接通和等离子体点火的 LED 指示器对数模拟输出信号现场总线接口(Profibus DP、DeviceNet)允许使用网络通信将真空计轻松集成到真空系统中
PEG100潘宁真空计典型应用:高真空压力监控蒸发溅射系统高真空范围内的一般真空测量和控制PEG100潘宁真空计选型指南:PEG100零件号说明351-000真空计351-002PEG100-P 规管351-003PEG100D 型真空计351-004PEG100-D Penning Gauge; DN40CF-F351-005PEG100-P 规管备件PEG100零件号说明351-490阴极片