iH80 英国进口爱德华干式真空泵维修保养iH80_详细资料

产品信息

品牌 Edwards/英国爱德华功率 3.5kw 输送介质其他泵轴位置其他极限压力 1pa 叶轮数目其他重量 240kg 排出口径 nw40mm 流量 103m3/h

英国进口爱德华干式真空泵维修保养iH80

概述
Edwards 高级半导体真空泵已经过现场应用证明，可以按照工作标准运行。通过延长使用寿命、提高运行时间并提高生产率，同时减小占地面积、降低运行成本，实现了高的可靠性和性能。

iH 系列为难以执行的制程（如存在微粒、易冷凝和腐蚀性副产品的 PECVD 和 LPCVD 制程）提供了高可靠性。英国进口爱德华干式真空泵维修保养iH80
应用
负载锁
输送
计量
平版印刷
PVD 制程
PVD 预清洁
RTA
剥离/灰化
刻蚀
植入源
HDP CVD
RTP
SACVD
MCVD
PECVD
LPCVD
ALD
功能和优势
优化了设施消耗。
无需预防性维护。
悬臂轴和特殊的异型转子便于颗粒的处理。
在节省电机功率的同时提高了工作繁重的 CVD 应用条件下的稳定性。
耐腐蚀的制造材料允许泵送腐蚀性气体。
较高的工作温度为避免气体冷凝提供了充分的安全保证。
整体式轴杆无需使用电机联结器，而第五级泵消除了使用消音器的需要并消除了颗粒堆积，从而降低了总体占地面积。英国进口爱德华干式真空泵维修保养iH80
技术数据
峰值速度 103 m3h-1
61 cfm
1717 l min-1
极限真空 1 x 10-2 mbar
7.5 x 10-3 Torr
1 Pa
典型轴封氮流量 4 slm
进气口连接 ISO63
出口连接 NW40
15 psi 压降下典型冷却水流量 120 l h-1
2 l min-1
重量 240 kg
极限功率输入 2.7 kW
电机额定功率 3.5 kW
油容量 0.7 l

所有数字均为无气镇时的典型值。
苏州昆山太仓无锡上海张家港吴江常熟镇江常州英国进口爱德华干式真空泵iH160、半导体晶圆维修保养iH80
扬州泰州南通南京启东海门如皋海门海安如东宿迁英国进口爱德华干式真空泵iH160、半导体晶圆维修保养iH80
徐州合肥芜湖杭州湖州温州台州衢州绍兴金华宁波英国进口爱德华干式真空泵iH160、半导体晶圆维修保养iH80
余姚福州厦门泉州深圳广州珠海广州惠州通州桂林英国进口爱德华干式真空泵iH160、半导体晶圆维修保养iH80
南宁南昌赣州武汉成都重庆荆州太原兰州乌鲁木齐英国进口爱德华干式真空泵iH160、半导体晶圆维修保养iH80

您可能感兴趣的产品

峰值速度	103 m3h-1
	61 cfm
	1717 l min-1
极限真空	1 x 10-2 mbar
	7.5 x 10-3 Torr
	1 Pa
典型轴封氮流量	4 slm
进气口连接	ISO63
出口连接	NW40
15 psi 压降下典型冷却水流量	120 l h-1
	2 l min-1
重量	240 kg
极限功率输入	2.7 kW
电机额定功率	3.5 kW
油容量	0.7 l