雷尼绍读数头TONiC/TONiC UHV选型方案
什么是TONiC？
TONiC是雷尼绍推出的小型非接触式增量式光栅系统，速度可达10 m/s，与Ti接口配套使用时，在线性和旋转应用中分辨率达1 nm。由于安装公差大，并且只需按下按钮即可进行校准，因此TONiC系统的安装快捷简单。TONiC的动态信号处理功能可提高信号稳定性，而且电子细分误差低，通常小于±30 nm，从而有助于实现的运动控制性能。TONiC UHV将增量式光栅技术引入低至10-10 Torr的高真空应用中，这类应用要求在紧凑的外形中保持高性能。
栅尺选项
镀金钢带栅尺名称 | 精度 | 栅距 | 热膨胀 系数 | 栅尺长度 | 读数头兼容性 |
RGSZ/RGSN | ±15 µm/m | 20 µm | 使用端压块固定到基体，保持与基体相同的热膨胀 | 如需超过50 m的长度，请联系雷尼绍 | TONiC、TONiC UHV |
带码道选项的不锈钢钢带
栅尺名称 | 精度 | 栅距 | 热膨胀 系数 | 栅尺长度 | 读数头兼容性 |
搭配可选FASTRACK™的RTLC20 | ±5 µm/m | 20 µm | ~10.6 µm/m/°C | 10 m | TONiC、TONiC UHV |
ZeroMet™直线硬栅尺
栅尺名称 | 精度 | 栅距 | 热膨胀 系数 | 栅尺长度 | 读数头兼容性 |
RELM/RELE | 1 m内为±1 µm，以后±1 µm/m | 20 µm | 0.75 ±0.35 µm/m/°C | 1.5 m | TONiC、TONiC UHV |
不锈钢直线硬栅尺
栅尺名称 | 精度 | 栅距 | 热膨胀 系数 | 栅尺长度 | 读数头兼容性 |
RSLM/RSLE/RSLC | 1 m内为±1.5 µm， 2 m内为±2.25 µm，3 m内为±3 µm， 5 m内为±4 µm | 20 µm | ~10.8 µm/m/°C | 5 m | TONiC、TONiC UHV |
不锈钢圆光栅
栅尺名称 | 刻划精度（取决于圆光栅直径） | 栅距 | 热膨胀 系数 | 圆光栅直径 | 读数头兼容性 |
RESM/REST/RESD | ±3.97至±0.38角秒 | 20 µm | 17 μm/m/°C
| 52至550 mm
| TONiC、TONiC UHV |
高精度不锈钢圆光栅
栅尺名称 | 安装精度（取决于圆光栅直径） | 栅距 | 热膨胀 系数 | 圆光栅直径 | 读数头兼容性 |
REXM/REXT | （≥100 mm直径）±1角秒 | 20 µm | 17 μm/m/°C | 52至417 mm | TONiC、TONiC UHV |
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