Asahi Spectra光刻滤光片
用于光刻的光学元件需要环境耐久性以抵抗高温和GX率的透射和反射,从而有助于提高产量。
Asahi为汞发射线,长通滤波器或通过离子辅助沉积(IAD)方法涂覆的冷镜提供带通滤波器。IAD技术确保干涉膜在诸如步进器的光刻设备中对抗恶劣环境的耐久性。它还实现了稳定的光谱性能和高透射率或反射率。
也可提供大幅面光学元件,直径约600mm。
Asahi公司为汞放射线、长波滤光器,以及以离子辅助沉积(IAD)方法涂层的冷镜提供通光带滤光器。
![](http://item.yiqi.com/pic/ConPic/2/636864481884889049125.jpg)
IAD技术保证了干涉膜能在像stepper这样的光刻设备的恶劣环境中,有足够的耐久性,
同时还能有稳定的光谱性能和高透光与反射性能。
也可以订购大型的滤光器,直径为600毫米。
高功率汞灯常用于光刻设备,如LSI和LCD步进器作为光源,特别是i-line(365 nm)是Z的线。为了达到光掩模的分辨率,通光带滤光器需要有效地透射单色汞线。
此外,不为降低运行成本而忽视环境耐久性。
Asahi公司的i-line通光带滤光器由离子辅助沉积(IAD)技术涂层与单片基板制造,以保证高温耐性,并长期保持稳定的光谱性能。
Asahi Spectra光刻滤光片
- 由于IAD技术与单片基板,设备长期具有稳定的光谱性能
- 根据需要可以调整CWL和FWHM
- 不论滤光器的尺寸有多大,都有优良的涂层均匀性