主动除振系统

主动除振系统STACIS®III是*先进的主动振动抵消系统。采用先进的惯性振动传感器，复杂的控制算法，和*先进的压电执行器，STACIS通过连续测量地板活动，通过膨胀和收缩压电执行器来过滤掉外界环境带来的震动。

主动除振系统*初设计用于先进半导体工厂的高精密光刻，计量，以及精密检测等设备的隔震 。STACIS现在成了嘈杂环境中高灵敏仪器隔震的行业标准解决方案，包括但不限于半导体工厂，失效分析实验室，纳米技术研究，纳米制造设施和材料研究。

STACIS III系统包括*个新的改进型数字控制器DC-2020，配置全新双核处理器、以太网以及USB串行端口。这种新的先进控制系统提供用户*个易于使用的直观图形化用户界面（GUI）。

随着世界范围内数以百计的成功安装，STACIS成了振动敏感的高精密仪器*理想的振动抵消系统的代名词。

DC-2020 for STACIS III： 
带有图形化用户界面的新*代STACIS数字控制器
STACIS® 系统标准配置DC-2020，用户无需单独选购。
STACIS® 系统安装在为客户定制设计的 TMC Quiet Island® 上subfloor ，为电子束光刻提供精密消震