Active Vibration and Motion Cancellation
for Increased Throughput
Stage-base 450 主动振动及运动隔离系统
为了满足放置在振动隔离系统上的半导体设备的极具挑战的要求,TMC继续推进技术进步来开发新的解决方案。 Stage-base 450 主动振动及运动隔离系统是专门设计用于具有高精度电动x-y平台的先进半导体工具的主要振动隔离系统。这种仪器需要非常GX的振动隔离,同样他们也要求通过快速设置移动平台来减小负载从而极大的提高工具产量。由于用于快速设置调节时间来进一步增加生产量的前馈控制音圈电机的加入,使其成为用于运动平台应用的进的主动振动和运动隔离系统。
Stage-base 450 主动振动及运动隔离系统