陶瓷电容
压力计 CCMT-D系列
CCMT-D系列使用的陶瓷隔膜随气体压力变化发生变形,伴随这种变化的静电容量检出压力的电容计。传感器部位属于陶瓷一体构造,配备优越的再现性,稳定性,不分气体种类,精确测量出低中真空领域压力。
特点
日本爱发科陶瓷电容压力真空计CCMT-D系列- 长期间的稳定性
- 陶瓷膜的采用导致优越的防腐蚀性
- 温度补偿回路内藏类型
- 新采用从污垢中保护传感器的构造
- 推钮可以调整0点
用途
- 成膜装置过程中的压力显示器使用
- 真空溶解,真空热处理炉等的真空排气系统的压力显示器使用
- 太阳电池等的各种制造装置的压力显示器使用
规格
日本爱发科陶瓷电容压力真空计CCMT-D系列型号 | CCMT-D |
全测定 | CCMT-1000D | 133kPa F.S. |
CCMT-100D | 13.3kPa F.S. |
CCMT-10D | 1.33kPa F.S. |
CCMT-1D | 133Pa F.S. |
分辨率 | 对于全测定0.003% |
精度 *1 | 对于指示值 ±0.2% ±温度系数 |
温度系数 | 零电压 | 0.005% F.S. / ºC |
跨距电压 | 0.01% R / ºC |
使用温度范围 | 10〜50ºC |
应答速度 | 30ms以下 |
连接气体部材质 | Al2O3、Vacon70 *2、SUS316 *3 |
输入电源 | DC14〜30V, 1W |
输出 | DC 0〜10VF.S |
重量 | 329g(直径12.7・标准型) |
外形尺寸 | 直径55mm×117mm (直径12.7mm・标准型) |
配件 | 标准:直径12.7管道 可选:NW16KF、UFC-034、Cajon 8VCO、Cajon 8VCR |
温度补偿 | 温度补偿回路内脏 |
输入输出连接器 | D-sub 15引脚 |
*1:2小时电源接通后,使用环境温度25ºC |
*2:18% Cr, 10% Ni, 3% Mo, 69% Fe |
*3:28% Ni, 23% Co, 49% Fe |
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