品牌 ULVAC/日本爱发科 输送介质 其他 泵轴位置 其他 极限压力 10-7pa 叶轮数目 其他 重量 175kg
特点
日本爱发科标准低温真空泵CRYO-U30H维修
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| 排气速度(20℃) | 氮气 | L/s | 28,000 |
| 氢气 | 43,000 | ||
| 氩气 | 23,000 | ||
| 水 | 70,000 | ||
| 到达压力 | Pa(Torr) | 10-7(10-9) | |
| 流量 | 氩气 | Pa・L/s(Torr・L/s) | 2.7×103(20) |
| 氢气 | 7.4×102(5.6) | ||
| 排气容量 | 氩气 | Pa・L(Torr・L) | 7.8×108(5.9×106) |
| 氢气 | 1.5×107(1.1×105) | ||
| 冷却降下时间 (电力循环) | min(Hz) | 240/200(50/60) | |
| 吸气口法兰 | VG-750 | ||
| 压缩机装置 | C30VR×2 | ||
| 质量 | Kg | 175.0 | |
*维护间隔：16,000小时
U22H,U30是在国际贸易管理法规定中属于战略物资的出口管制品。
在出日本国境时请务必办理日本政府的出口许可申请等手续。
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