CRYO-U22P CRYO-U22WB 日本爱发科标准低温真空泵CRYO-U22P维修_详细资料

产品信息

品牌 ULVAC/日本爱发科输送介质其他泵轴位置其他极限压力 10-7pa 叶轮数目其他抽气速率 11500l/s 重量 115kg

标准低温泵 [22型]
CRYO-U22P

外形尺寸 (单位:mm)

日本爱发科标准低温真空泵CRYO-U22P维修
标准规格

日本爱发科标准低温真空泵CRYO-U22P维修
排气速度(20℃) 氮气 L/s 11,500
氢气 14,000
氩气 9,700
水 39,000
到达压力 Pa(Torr) 10^-7(10^-9)
流量氩气 Pa・L/s(Torr・L/s) 1.7×10³(12.8)
氢气 5.0×10²(3.7)
排气容量氩气 Pa・L(Torr・L) 5.8×10⁸(4.4×10⁶)
氢气 6.0×10⁶(4.5×10⁴)
冷却降下时间
(电力循环) min(Hz) 180/170(50/60)
吸气口法兰 UVG-550
压缩机装置 C30PVRT
质量 Kg 115.0
*维护间隔：16,000小时
标准低温泵 [22型]
CRYO-U22WB

外形尺寸 (单位:mm)
标准规格
排气速度(20℃) 氮气 L/s 13,000
氢气 16,500
氩气 11,000
水 39,000
到达压力 Pa(Torr) 10^-7(10^-9)
流量氩气 Pa・L/s(Torr・L/s) 3.5×10³(26)
氢气 1.3×10³(9.6)
排气容量氩气 Pa・L(Torr・L) 8.1×10⁸(6.1×10⁶)
氢气 8.5×10⁶(6.4×10⁴)
冷却降下时间
(电力循环) min(Hz) 165/150(50/60)
吸气口法兰 UVG-550
压缩机设置 C30PMVRT×1
质量 Kg 125.0
*维护间隔：16,000小时
设备介绍
标准低温泵 [22型]
CRYO-U22H

特点
适用于大型成膜装置。
拥有的排除水蒸汽的性能。
外形尺寸 (单位:mm)
标准规格
排气速度(20℃) 氮气 L/s 17,000
氢气 25,000
氩气 14,000
水 39,000
到达压力 Pa(Torr) 10^-7(10^-9)
流量氩气 Pa・L/s(Torr・L/s) 4.1×10³(31)
氢气 1.3×10³(9.6)
排气容量氩气 Pa・L(Torr・L) 8.1×10⁸(6.1×10⁶)
氢气 8.5×10⁶(6.4×10⁴)
冷却降下时间
(电力循环) min(Hz) 150/135(50/60)
吸气口法兰 UVG-550
压缩机装置 C30VR×2
质量 Kg 125.0
*维护间隔：16,000小时

U22H,U30是在国际贸易管理法规定中属于战略物资的出口管制品。
在出日本国境时请务必办理日本政府的出口许可申请等手续。
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压缩机设置			C30PMVRT×1
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吸气口法兰			UVG-550
压缩机装置			C30VR×2
质量		Kg	125.0