CRYO-U20H CRYO-U20P 日本爱发科标准低温真空泵CRYO-U20P维修_详细资料

产品信息

品牌 ULVAC/日本爱发科输送介质其他泵轴位置其他极限压力 10-7pa 叶轮数目其他重量 69kg

设备介绍
标准低温泵 [20型]
CRYO-U20P

特点日本爱发科标准低温真空泵CRYO-U20P维修
适用于大型成膜装置以及批量式大型成膜装置等大型生产装置。
外形尺寸 (单位:mm)
标准规格

日本爱发科标准低温真空泵CRYO-U20P维修
排气速度(20℃) 氮气 L/s 10,000
氢气 18,000
氩气 8,400
水 29,000
到达压力 Pa(Torr) 10^-7(10^-9)
流量氩气 Pa・L/s(Torr・L/s) 1.1×10³(8.7)
氢气 5.0×10²(3.7)
排气容量氩气 Pa・L(Torr・L) 5.8×10⁸(4.4×10⁶)
氢气 4.6×10⁶(3.4×10⁴)
冷却降下时间
(电力循环) min(Hz) 180/160(50/60)
吸气口法兰 UVG-500
压缩机装置 C30VR
质量 Kg 69.0
*维护间隔：16,000小时
标准低温泵 [20型]
CRYO-U20H

特点
适用于大型成膜装置以及批量式大型成膜装置等大型生产装置。
外形尺寸 (单位:mm)
标准规格
排气速度(20℃) 氮气 L/s 10,000
氢气 18,000
氩气 8,400
水 29,000
到达压力 Pa(Torr) 10^-7(10^-9)
流量氩气 Pa・L/s(Torr・L/s) 1.7×10³(12.8)
氢气 5.0×10²(3.7)
排气容量氩气 Pa・L(Torr・L) 5.8×10⁸(4.4×10⁶)
氢气 4.6×10⁶(3.4×10⁴)
冷却下降时间
(电力循环) min(Hz) 160/140(50/60)
吸气口法兰 UVG-500,20^BANSI,ISO-500
压缩机装置 C30PVRT
质量 Kg 72.0
*维护间隔：16,000小时
苏州昆山太仓无锡上海张家港吴江常熟镇江
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排气速度(20℃)	氮气	L/s	10,000
	氢气		18,000
	氩气		8,400
	水		29,000
到达压力	Pa(Torr)		10^-7(10^-9)
流量	氩气	Pa・L/s(Torr・L/s)	1.1×10³(8.7)
	氢气		5.0×10²(3.7)
排气容量	氩气	Pa・L(Torr・L)	5.8×10⁸(4.4×10⁶)
	氢气		4.6×10⁶(3.4×10⁴)
冷却降下时间 (电力循环)	min(Hz)		180/160(50/60)
吸气口法兰			UVG-500
压缩机装置			C30VR
质量		Kg	69.0