HR60 HR90 HR180 HR300 爱发科干式真空泵 HR/UR Series维修保养_详细资料

产品信息

品牌 ULVAC/日本爱发科输送介质其他泵轴位置其他极限压力 5pa 叶轮数目其他抽气速率 18l/s 重量 200kg 电压 200V 排出口径 VG50 (KF40)mm 流量 62m3/h

干泵
LR/HR/UR Series
干泵LR/HR/UR series通过独自的高温均热化技术，有效利用压缩热，实现了CVD、蚀刻等硬流程的高耐久性。轻流程的话通过搭配ECO-SHOCK可以Z多减少约80%的用电量。另外，提高了干泵的维护保养性能以及减少了噪音，全机种都能适用。关于CEO-SHOCK的详细信息，请从关联情报中浏览。
特点
LR Series: 低温领域均热化
针对于惰性气体的排气增加,特别是为了提高处理能力,缩短排气时间
HR Series/UR Series: 高温领域均热化
CVD、蚀刻法等发生时，升华性排气物质的可以以气体状态排出
1000msec以内的瞬停对策
可以对应CE爱发科干式真空泵 HR/UR Series维修保养
用途
活性气体（CVD、干腐蚀等）
惰性气体排气（溅射、蒸着、热处理等）
排气时间缩短（LR Series)
粉体发生时的过程排气（Si单结晶提高等）
辅助排气泵（漩涡分子泵、机械泵的辅助排气）
式样
爱发科干式真空泵 HR/UR Series维修保养
型名 LR/HR
60 LR/HR
90 LR
180 LR
421 LR
421-T UR
421-T LR/HR
300 LR/HR
600 UR
600 LR/HR
1200 UR
1200
使用泵 DRP LR/HR
60 LR/HR
90 LR
180 LR
421 LR
421-T UR
421-T LR/HR
60 LR/HR
90 UR
90 LR/HR
90 UR
90
MBP － PRC-003A PRC-006A PRC-012A
排气速度 m³/h 50Hz 62 112 183 440 440 410 359 653 653 1012 1012
60Hz 80 126 237 365 701 1051
L/min 50Hz 1030 1860 3100 7333 7333 6833 5980 10900 10883 16900 16867
60Hz 1333 2100 3950 6080 11700 17500
到达压力 Pa 5.0 0.67
排气圧力（吸入圧力）大气压 *
排气口圧力（排出圧力） 1Pa～大气压
吸气口（CE式样） VG50
(KF40) VG80(KF50) VG100 VG80(KF80) VG100(KF100)
排气口 KF40 VG50 KF40
干泵表面处理 ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○
机械增压泵表面处理 - - - - - - ○ * ○ * ○ ○ * ○
质量 kg 180 245 335 415 251 371 403
电力三相 VAC
(Hz) 200（50/60), 220(60) 180～240/380～440（50/60） 200（50/60), 220(60)
电流值定常值 A 6.9/7.1 11.2 18.9 20.8 23 7.0/7.8 12.3/12.9 16.4 13.7/15.4 18.9
值 A 7.0/7.3 11.8 20.6 48.5 52.5 9.6/8.1 19.0/13.8 17.3 24.2/18.9 22.4
冷却水一次圧力 MPa 0.1 to 0.3 0.2 to 0.5 0.1 to 0.3
冷却水出入口差圧 MPa ＞0.1 ＞0.2 ＞0.1
冷却水流量 L/min ＞5.0 ＞4.0 ＞5.0 ＞5.0
清洗气体一次圧力 MPa 0.1 ～ 0.5
二次圧力 MPa 0.05 ～ 0.1
N₂清洗/td> 轴 SLM 5
气镇 SLM 0～45 なし*1 0～45 0～195 0～45
*下单时请指定使用电压。
*HR300、HR/UR600、HR/UR1200、请不要在200Pa以上的吸入圧下连续运转。泵的温度异常时联锁会运作。
*LR300、LR600、LR1200、UR600、UR1200、UR1800、UR3601-TT的MBP可以选择是否表表面处理。
*吸气口为JIS法兰盘是标准。CE对应场合为NW型。
*1 用途可用的气镇式样也可以报价。
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型名 LR1800 UR1800 LR3601 LR3601-TT LR3601-R LR3601-TR(TTR) UR3601-TT
使用泵 DRP LR180 UR180 LR421 LR421-T LR421 LR421-T UR421-T
MBP PRC-018A PRC-036C PRC-036C(-T） PRC-036D PRC-036D（D-T） PRC-036C-T
排气速度 m³/h 50Hz 1701 1701 3200 2700
60Hz 1784
L/min 50Hz 28350 28350 53333 45000
60Hz 29700
到达压力 Pa 0.67
排气圧力（吸入圧力）大気圧 *
排气口圧力（排出圧力） 1Pa～大気圧
吸气口 * VG150(KF100) VG150
排气口 KF40 KF50
干泵表面处理 ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○
机械增压泵表面处理 ○ * ○ × T：×　TT：○ × TR：×　TTR：○ ○
质量 kg 553 660 720 660 720 720
电力三相 VAC(Hz) 200（50/60),220(60) 180～240/380～440（50/60）
电流值定常值 A 21.4 29.2 31 35.4 39.8
値 A 39.8 34.9 58.4 82 68.3
冷却水一次圧力 MPa 0.1 to 0.3 0.2 to 0.5
冷却水出入口差圧 MPa ＞0.1 ＞0.2
冷却水流量 L/min ＞5.0 ＞4.0 ＞5.0
清洗气体一次圧力 MPa 0.1 ～ 0.5
二次圧力 MPa 0.05 ～ 0.1
N₂清洗轴 SLM 5
气镇 SLM 0～45 0～195 なし*1 0～45 なし*1 0～45 0～195
*下单时请指定使用电压。
*HR300、HR/UR600、HR/UR1200、请不要在200Pa以上的吸入圧下连续运转。泵的温度异常时联锁会运作。
*LR300、LR600、LR1200、UR600、UR1200、UR1800、UR3601-TT的MBP可以选择是否表表面处理。
*吸气口为JIS法兰盘是标准。CE对应场合为NW型。
*1 用途可用的气镇式样也可以报价。

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型名			LR1800	UR1800	LR3601	LR3601-TT	LR3601-R	LR3601-TR(TTR)	UR3601-TT
使用泵	DRP		LR180	UR180	LR421	LR421-T	LR421	LR421-T	UR421-T
	MBP		PRC-018A		PRC-036C	PRC-036C(-T）	PRC-036D	PRC-036D（D-T）	PRC-036C-T
排气速度	m³/h	50Hz	1701	1701	3200				2700
		60Hz	1784
	L/min	50Hz	28350	28350	53333				45000
		60Hz	29700
到达压力	Pa		0.67
排气圧力（吸入圧力）			大気圧 *
排气口圧力（排出圧力）			1Pa～大気圧
吸气口 *			VG150(KF100)	VG150
排气口			KF40		KF50
干泵表面处理			○	○	○	○	○	○	○
机械增压泵表面处理			○ *	○	×	T：×　TT：○	×	TR：×　TTR：○	○
质量	kg		553		660	720	660	720	720
电力	三相	VAC(Hz)	200（50/60),220(60)		180～240/380～440（50/60）
电流值	定常值	A	21.4	29.2	31		35.4		39.8
	値	A	39.8	34.9	58.4		82		68.3
冷却水一次圧力	MPa		0.1 to 0.3		0.2 to 0.5
冷却水出入口差圧	MPa		＞0.1		＞0.2
冷却水流量	L/min		＞5.0		＞4.0				＞5.0
清洗气体	一次圧力	MPa	0.1 ～ 0.5
	二次圧力	MPa	0.05 ～ 0.1
N₂清洗	轴	SLM	5
	气镇	SLM	0～45	0～195	なし*1	0～45	なし*1	0～45	0～195