- 高精度轮廓仪设备的主要技术参数
高精度轮廓仪测量范围 | X方向 | 150mm |
Z1(传感器) | 25mm |
高度 | 400mm |
Z小内孔 | 30mm (换小测针可测更小内径) |
测量精度 | X方向 (L=X轴移动导轨距离) | ±(1.5+2L/100)μm |
Z方向 (H=Z轴方向测量高度) | ±(1.8+3H/100)μm |
传感器 | 类型 | 光栅传感器 |
分辨率 | 0.05μm |
产地 | 进口 (美国microe) |
X轴 | 直线度 | 0.20μm /60mm |
分辨率 | 0.1μm |
产地 | 进口 (美国microe) |
爬坡角度 | 上升77度 下降88度 |
测量速度(轮廓) | 0.02mm至4.0mm/s |
测量方式 | 传感器移动 |
工作压力 | 0.35~0.43Mpa |
气源压力 | 0.45~0.80Mpa |
气源流量 | ≥0.2 m³/min |
电源 | AC 220V±10% 50Hz |
环境要求 | 温度:10~30℃;相对湿度:<85% |
- 仪器测量原理
该仪器为直角坐标测量法,触针接触式。机械部份采用精密气浮直线运动导轨,建立X坐标的精密测量基准,Z坐标由电感传感器构成,可以测量各种精密机械零件的素线形状。本仪器由于基准直线运动采用精密气浮导轨,故移动精度高、稳定性好、寿命长、而且运动灵活性好、直线性好、操作方便。运动距离采用进口光栅尺计量,X轴的尺寸坐标精确,数据采集及数据处理均采用计算机,故测试精度高、功能多,又可方便打印和存档,为用户带来很大的方便。