1150C质量流量计的详细资料:
1150A
基于压力的质量流量控制器
1150蒸汽源质量流量控制器MFC是一种基于压力的测量和控制系统,用于直接测量和控制从低蒸汽压液体源和固体源中产生的蒸汽,而无需其它运载气体。
1150由一个固定流体单元、一个用于流量测量的电容压力计和一个用于流量控制的比例电磁控制阀(美国No . 4,679,585)组成。1150组装为一个紧凑的、可控制温度的组件,配有一个温度状态LED显示器和继电器来显示温度是否处于合适的范围。
基本价格
质量流量控制器带有15针D型连接器,请联系《MKS应用工程部》,将会为你的应用所需的合适系统配置进行一次电脑分析,分析的结果将确定正确系统配置的采购序列号。
用于1150C的电缆线
CB259-5-10用于将1150/1152 连接至246, 247
CB147-1-10用于将1150/1152 连接至647
CB260-3-10用于将1150/1152功率接口连接至260PS-1或用于加热器的3B
备注:1150和1152有一个加热器,以提供Z高150°C的工作温度