什么是RELA栅尺?
RELA是用ZeroMet(一种低膨胀镍/铁合金)制造的因钢栅尺,采用30 µm栅距的对式栅尺编码。
它可与精细栅距的玻璃栅尺媲美,在1 m长度内的总体精度(包括斜率误差和线性误差)优于±1 µm。ZeroMet在20 °C时的热膨胀系数为0.75 ±0.35 µm/m/°C。
系统设计人员可根据要求选择背面自带的特殊配方UHV兼容不干胶带或用机械夹具进行安装。两种安装方式都有助于使栅尺不受基体热膨胀影响。
为什么选择这种光栅系统?UHV(超高真空)
RESOLUTE UHV采用雷尼绍革命性创新的对式光栅技术,通过一个适合在低达10 -9Torr的超高真空条件下应用的读数头充分发挥其技术优势。新的RESOLUTE UHV光栅系列的构造有利于进行残余气体分析 (RGA) 而不会污染真空环境,非常适合高性能、半导体和科研等应用领域。
优异的运动控制性能
成熟、可靠和创新的工作方法造就了RESOLUTE UHV的业界ling先的性能。重要的是,该系统使用标称栅距为30 µm的单码道非重复“条形码”栅尺格式。RESOLUTE读数头采用先进的光学设计,可以捕获该栅尺的准瞬时图像,在分析时,它还能在速度达到100 m/s时识别独特位置。该系统能够凭借低至1纳米(十亿分之一米)的分辨率以及低噪声(抖动低于10 nm RMS)和仅为±40 nm的低SDE(电子细分误差,一个栅尺刻划周期内的误差)确定位置。该分析提供具有优异保真度的光栅反馈,可确保更稳定的速度控制和的位置稳定性。
宽松的安装公差
RESOLUTE UHV没有采用传统的双码道并排(一个为增量式,另一个为对式)方法,因为该方法在有少量角度准直偏差时会出现移相这一固有问题。与之不同的是,这种对式光栅采用单码道对式栅尺,将对位置和内置的相位信息整合为单个代码。该技术使RESOLUTE UHV具有更宽松的安装公差(扭摆公差为±0.5°),因此安装快捷方便,具有优异的长期稳定性,即使运动轴随着时间的推移而出现驻留或移动时也是如此。读数头上有一个内置LED安装指示灯,用于进一步协助安装和诊断。
技术规格
测量标准 | RELA:对编码式高精度ZeroMet栅尺 |
读数头尺寸 (LxH) | 36 mm x 16.5 mm x 17.2 mm |
栅距 | 标称30 µm |
20 °C时的热膨胀系数 | 0.75 ±0.35 μm/m/°C |
20 °C时的精度等级 | 认证精度达到±1 µm,校准可朔源到国际标准 |
栅尺长度 | |
Z高速度 | Z高可达100 m/s |
协议* | BiSS C Panasonic |
防护等级 | IP30 |
分辨率 | BiSS C:分辨率为50 nm、5 nm和1 nm Panasonic:分辨率为100 nm、5 nm和1 nm |
电子细分误差 (SDE) | ±40 nm |
电气连接 | 栅尺长度可达10m(带散线) |
电源 | 5 V ±10%,5 V时Z大为250 mA(端接) |
振动(工作) | 55 Hz至2000 Hz时100 m/s2(Z大值) |
震动(非工作) | 1000 m/s2,6 ms,½正弦 |
工作温度 | 0 °C至+75 °C |