湿法刻蚀机EDC-650-8/EDC-650-15/EDC-650-X湿法刻蚀又称为湿化学刻蚀法。它主要是借助刻蚀剂与待刻材料之间的化学反应将待刻膜层溶解,以达到刻蚀的目的。湿法刻蚀一般被用于工艺流程前面的晶圆片准备、清洗等不涉及图形的环节。
湿法刻蚀机EDC-650-8/EDC-650-15/EDC-650-X
适用工艺(包括但不限于下述湿法制程)
光刻胶显影(KrF/ArF)
SU8厚胶显影
显影后清洗
PostCMP清洗
光罩去胶清洗
光刻胶去除
金属Lift-off处理
刻蚀微刻蚀处理
适用基底的尺寸范围
型号
可满足尺寸范围
EDC-650-23
小于或等于 6英寸(150mm)直径圆片或5x5英寸(125mm)边长方片
EDC-650-8
小于或等于 8英寸(200mm)直径圆片或7x7英寸(175mm)边长方片
EDC-650-15
小于或等于12英寸(300mm)直径圆片或9x9英寸(225mm)边长方片
EDC-650-X
可根据用户特殊要求订制设备
本产品信息由(北京中兆国仪科技有限公司)为您提供,内容包括(EDC-650-23 湿法刻蚀机EDC-650-8/EDC-650-15/EDC-650-X)的品牌、型号、技术参数、详细介绍等;如果您想了解更多关于(EDC-650-23 湿法刻蚀机EDC-650-8/EDC-650-15/EDC-650-X)的信息,请直接联系供应商,给供应商留言。若当前页面内容侵犯到您的权益,请及时告知我们,我们将马上修改或删除。
仪器网微信公众号
扫码获取最新信息
咨询客服
仪采招微信公众号
采购信息一键获取海量商机轻松掌控