SpheroMeter全自动球径仪_详细资料

产品信息

SpheroMeter全自动接触式球径仪可以满足Z高精度的测量要求，至今已在范围内得到广泛应用，并成为工业标准。

型号及技术规格：

Ultra-Spherotronic
超精密球径仪
Super-Spherotronic HR
精密球径仪
Spherocompact
紧凑型球径仪
测量范围
曲率(凸)
+3 mm … ∞
+3mm … ∞
+2.5mm … ∞
曲率(凹)
-6mm … ∞
-6mm … ∞
-4mm … ∞
线性编码器行程
±25mm
±25 mm
±12.5mm
被测样品直径（标配）
6 … 150mm
6 … 150mm
10 … 150mm
被测样品直径可扩展至300mm
精度
线性编码器分辨率
0.1μm
0.1µm
0.1μm
线性编码器精度
±0.05μm
±0.2μm
±0.2μm
曲率测量精度
0.005%
0.01%
0.05%
球环
精密球环材料
碳化钨
红宝石
标配球环尺寸
7.8mm, 14mm, 20mm, 28mm,
38mm,60mm, 90mm, 120mm
12.5mm, 25mm, 50mm,
75mm, 100mm, 125mm
选配球环尺寸
48mm, 75mm, 150mm, 225mm
6mm,20mm,38mm,150mm, 225mm
特殊尺寸球环可订制
标配平晶尺寸
Ф30mm@λ/10；Ф50mm@λ/10；Ф100mm@λ/5；Ф150mm@λ/3
选配平晶尺寸
Ф250mm@λ/3
WaveSensor波前传感器

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	Ultra-Spherotronic 超精密球径仪	Super-Spherotronic HR 精密球径仪	Spherocompact 紧凑型球径仪
测量范围
曲率(凸)	+3 mm … ∞	+3mm … ∞	+2.5mm … ∞
曲率(凹)	-6mm … ∞	-6mm … ∞	-4mm … ∞
线性编码器行程	±25mm	±25 mm	±12.5mm
被测样品直径（标配）	6 … 150mm	6 … 150mm	10 … 150mm
被测样品直径可扩展至300mm
精度
线性编码器分辨率	0.1μm	0.1µm	0.1μm
线性编码器精度	±0.05μm	±0.2μm	±0.2μm
曲率测量精度	0.005%	0.01%	0.05%
球环
精密球环材料	碳化钨		红宝石
标配球环尺寸	7.8mm, 14mm, 20mm, 28mm, 38mm,60mm, 90mm, 120mm		12.5mm, 25mm, 50mm, 75mm, 100mm, 125mm
选配球环尺寸	48mm, 75mm, 150mm, 225mm		6mm,20mm,38mm,150mm, 225mm
特殊尺寸球环可订制
标配平晶尺寸	Ф30mm@λ/10；Ф50mm@λ/10；Ф100mm@λ/5；Ф150mm@λ/3
选配平晶尺寸	Ф250mm@λ/3