应用: Super-Spherotronic, Super-Spherotronic HR, UltraSpherotronic, Compact Spherotronic等都可以应用于下述场合的再生产或者实验室的曲率半径测量 • 凹面/凸面光学元件 • 研磨或抛光的光学元件 • 球面及球体 • 对样板 • 配合专用的测量环,还可以用于圆柱面的曲率半径测量 Super-Spherotronic HR 精密球径仪 | | Compact Spherotronic紧凑型球径仪 | 精密球环及平晶 |
特点: • 主体结构使用厚重的不锈钢制造,与检测头之间的同心性优于1微米 (0.00004") • 测量环用经过热处理的不锈钢制造并超高精密加工而成,每个测量环都带有标定数据。测量精度直接溯源于NIST标准 • 支撑球用红宝石或者碳化钨制造,避免热或者机械变形。支撑球同样精密地同心定位,定位精度优于1微米 (0.00004") • 采用高精密的Heidenhain编码器,其误差小于0.2 微米 (0.000008") • 用于零位标定的平晶面形精度为:λ/10 • 一套标准测量环直径范围为7.8---120mm(其他直径的根据客户要求定做)
型号系列: • Super-Spherotronic HR • UltraSpherotronic • Compact Spherotronic
技术参数:
型号 | Super-Spherotronic HR精密球径仪 | Ultra-Spherotronic超精密球径仪 | Spherocompact:紧凑型球径仪 | 测量范围 | 曲 率(凸) | +3.5mm~∞ | +3.5mm~∞ | +2.5mm~∞ | 曲 率(凹) | -6mm~∞ | -6mm~∞ | -4mm~∞ | 线性编码器行程 | +/- 30mm | +/-30 mm | +/-12.5mm | 被测样品直径 | 6~500mm | 6~500mm | 5~500mm | 精度 | 线性编码器分辨率 | 0.1μm | 0.01/0.05/0.1µm | 0.1μm | 线性编码器精度 | ±0.2μm | ±0.05μm | +/-0.2μm | 曲率测量精度 | 0.01%. | 0.005%. | 0.05% | 精密球环(选项) | 精密球环 | 精密红宝石球环(选项) | 标准环直径分别为:7.8mm、14mm、20mm、28mm、38mm、60mm、90mm、120mm | 标准环直径分别为:12.5mm、25mm、50mm, 75mm、100mm、125mm | 可选择:48mm, 75mm, 150mm, 225mm (特殊尺寸需求可订购) | 特殊尺寸:6mm、150mm、 225mm (特殊尺寸需求可订购) | 球径仪使用的精密平晶(选项):Ф30mm λ/10、 Ф50mm λ/10、 Ф100mm λ/5、 Ф150mm λ/3 |
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