RTP快速退火炉特点:
l 快速加热及冷却能力;
l 可在任意气氛中使用;
l 实时观测试样;
l 精确的温度控制;
RTP快速退火炉技术参数
型号
MILA-5000Series
温度范围:
室温~1200℃(Z高)
Z大加热功率:
50℃/s(50~1200℃)真空
45℃/s(50~1200℃)氮气氛围
温度均匀性:
±2.0℃(ΔT=4℃)1200℃真空
±4.5℃(ΔT=9℃)1200℃氮气氛围
加热气氛:
大气、真空、惰性气氛环境下
试样尺寸:
MAX:50 square or φ 50 x T5 (mm)
程序模组:
温度VS时间设定、Step数256、Program数32(Z大);
PID+Fuzzy控制、自动微调、USB通讯、自动/手动切换;
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