RTP快速退火炉的详细描述:
厂家直销 量大从优 保证质量 : 王倩
该RTP快速退火炉采用:
■多重灯管设计以保证温度均匀
■ 实时闭环温度控制方式
■ 实时灯丝电流监测以保证工艺稳定可靠性
■ 安全监测,包括热偶测温检测、过热检测、灯丝电流检测
■ 用户操作界面,使用非常简便
■ 软件全自动控制工艺过程,操作简单,包括用户分级使用权限管理
■ 菜单编辑、工艺数据记录/查找、报警/报错、用户状态等功能
RTP快速退火炉的主要技术参数如下
加热元件:卤素电极;
电极数量:12支;
整机功率:7.2KW;
升温速率:200℃/Second;
降温速率:30秒(1000℃
→ 400℃);
Z高温度:1100℃;
温度精度:+/-
1℃;
Z大样品尺寸:4英寸;
气氛环境:真空、气体(氮气、氩气、氧气)、空气;
真空系统:可根据实际需要选配无油机型泵或者分子泵
应用领域:
-快速热退火
-
快速热氧化
- 快速热氮化
- 硅化
- 扩散
- 化合物半导体退火
- 离子注入后退火
- 电极合金化
-
晶向化和坚化
- 合金熔点分析;
- 薄膜沉积; 等等…