详情介绍:
本仪器是一款小型蒸发镀膜仪,蒸发温度从200℃到1700℃,采用钨丝篮作为蒸发源,蒸发源外套高纯氧化铝坩埚。样品台距离蒸发源距离可调。仪器拥有高精度的温度控制系统,采用循环加热方式,能够稳定蒸发金属及部分有机物。采用高纯石英腔体作真空腔体,镀膜过程完全可见。仪器标配双极旋片真空泵,能够快速达到1.0E-1Pa的真空度,可满足大多数蒸发镀膜实验所需的真空环境。本仪器适用于蒸发涂覆大多数金属和部分有机材料薄膜,结构紧凑体积小巧,是一款性价比较高的实验室镀膜设备。
小型蒸发镀膜仪适用范围:
主要用于蒸发涂覆大多数金属和部分有机材料薄膜。
技术参数:
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样品台 | 尺寸 | φ80mm | 至蒸发源间距 | 20mm~50mm可调 |
蒸发系统 | 蒸发源 | 钨丝篮 | *高温度 | 1700℃ |
热电偶 | S型热电偶 | | |
真空腔体 | 腔体尺寸 | φ180mm×100mm | 观察窗口 | 全向透明 |
腔体材料 | 高纯石英 | 开启方式 | 顶盖拆卸式 |
真空系统 | 机械泵 | 旋片泵 | 抽气接口 | KF16 |
真空测量 | 电阻规 | 排气接口 | KF16 |
极限真空 | 1.0E-1Pa | 供电电源 | AC;220V 50/60Hz |
抽气速率 | 旋片泵:1.1L/S |
其他 | 供电电压 | AC220V,50Hz | 整机尺寸 | 360mm×300mm×470mm |
整机功率 | 800W | 整机重量 | 15kg |