箱式电子束蒸发镀膜机◆ 镀膜室体积：500mmX500mmX600mm；◆ 极限真空度：6.7X10-5 Pa，恢复真空：从大气抽至6.7X0-4 Pa （40分钟）；◆ 真空抽气系统：机械泵与分子泵组成；◆ 真空测量系统：数显复合真空计；◆ 蒸发源：电子束蒸发源：E型电子枪，功率0～6KW可调；电阻蒸发源：功率3kW/10V两组；◆ 工件烘烤温度：室温～350℃可控可调（PID控温）；◆ 选配件：光学膜厚测量仪、石英晶振测厚仪、高压离子轰击、霍尔离子源、冷却水机组等；◆ 供电电源：三相AC380V，50Hz。◆ 特殊规格可定制。
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