真空镀膜电源 真空镀膜行业不同于以往的电镀行业,属于物理方式的表面处理行业。广泛用于各种金属及非金属镀膜装置,涂镀光元件、微电子元件、磁性元件、钟表、种类装饰材料、体育用品、精密工模具、薄膜包装等镀膜制品,以及应用于现代工业、航空航天航海等军事领域的镀耐蚀膜、耐磨损膜、固体润滑膜装置。 真空镀膜过程非常复杂,由于镀膜原理的不同分为很多种类,仅仅因为都需要高真空度 (HV,UHV)而拥有统一名称。真空镀膜主要分类有两个大种类:蒸发沉积镀膜和溅射沉积镀膜,具体则包括很多种类,包括真空离子蒸发,磁控溅射,MBE分子束外延,溶胶凝胶法等等。 一、对于蒸发镀膜: 一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来,并且沉降在基片表面,通过成膜过程(散点-岛状结构-迷走结构-层状生长)形成薄膜。 二.对于溅射类镀膜,可以简单理解为利用电子或高能激光轰击靶材,并使表面组分以原子团或离子形式被溅射出来,并且沉积在基片表面,经历成膜过程,形成薄膜。 真空镀膜电源是真空镀膜设备的重要组成部分。例如在真空溅射设备中就是由溅射室、磁控溅射靶、对向磁控靶、射频电源、直流电源、样品加热转台、真空获得及测量系统、电控系统、气路系统、微机控制膜层系统等组成。 本公司自主研发生产的真空镀膜电源,成功地运用了优异的脉宽调制技术(PWM),引进三菱、富士等国外进的IGBT核心执行元件,大功率机器采用结构均流技术,并配以各种完善的保护功能,使得高频开关电源可靠性问题得到了圆满解决,满足低纹波要求,且体积小、重量轻、节能环保,是一种性价比异的直流电源产品,也是可控硅整流电源的替代品。 本公司生产的真空镀膜电源(真空蒸发镀膜电源和真空溅射镀膜电源)有以下特点: 1、恒流输出,不随气压变化。 2、YZ靶材弧光放电及抗短路功能。 具有的负载匹配能力 3、工艺重复性好 4、提高成膜速度, 实现高质量的溅射膜层。 真空蒸发镀膜电源的电压为18V,电流为2000A-5000A左右。 真空溅射镀膜电源的电压为800V,电流为50A-150A左右。 真空镀膜电源技术指标: 品名:真空镀膜电源 型号:SPWM系列 容量:0-100KVA 频率:50 Hz 输入相数:3相4线+G 输入电压:380 V+/-15% 输出电压:0-800V 输出电流:0-5000A 稳压精度:<1% 稳流精度: <1% 纹波: <1% 输入功率因子:95%以上 整机效率:85%以上 面板显示:输出电压表,输出电流表(含V.S) 冷却方式:强迫气冷或内循环水冷 操作的环境条件: 温度范围:0 ~ 85℃ 相对湿度:10 ~90% 未凝结水滴(@25℃) 海拔高度:1000 m 箱体烤漆颜色:浅沙色,Munsell 5Y7/1,RAL 7032 开关电源特点:体积小,重量轻,效率高,节能效果显著。功率因子高,对电网污染小。输出纹波小。输出电压,电流独立可调,恒压,恒流自动转换。保护功能齐全,有限流,限压,过流,过压,过热,缺相保护。 |