简单介绍：
本仪器是一款高真空紧凑型热蒸发镀膜仪，蒸发温度从200℃到1700℃，采用钨丝篮作为蒸发源，蒸发源外套高纯氧化铝坩埚。
详情介绍：
本仪器是一款高真空紧凑型热蒸发镀膜仪，蒸发温度从200℃到1700℃，采用钨丝篮作为蒸发源，蒸发源外套高纯氧化铝坩埚。上盖装有可旋转的样品台，能够有效提高成膜的均匀度。仪器拥有高精度的温度控制系统，采用循环加热方式，能够稳定蒸发金属及有机物。采用不锈钢高真空腔体设计，配高精度分子泵，能够达到高真空要求，较高的真空度能够有效提升蒸发镀膜的效率及质量。
小型高真空热蒸发镀膜仪用途：
本仪器适用于蒸发涂覆大多数金属和某些有机材料薄膜。
小型高真空热蒸发镀膜仪技术参数：
|
样品台 | 尺寸 | φ65mm | 至蒸发源间距 | 60mm~100mm可调 |
转速 | 1-20rpm可调 | | |
蒸发系统 | 蒸发源 | 钨丝篮 | *高温度 | 1700℃ |
热电偶 | S型热电偶 | | |
真空腔体 | 腔体尺寸 | φ170mm× 200mm | 观察窗口 | 石英观察窗 φ70 |
腔体材料 | 不锈钢 | 开启方式 | 上开启式 |
真空系统 | 产品型号 | CY-GZK103-A | 抽气接口 | KF40 |
分子泵 | CY-600 | 排气接口 | KF16 |
前极泵 | 旋片泵 | 真空测量 | 复合真空计 |
极限真空 | 1.0E-5Pa |
抽气速率 | 分子泵：600L/S 旋片泵：1.1L/S 综合抽气性能：20分钟真空度可达： 1.0E-3Pa |
其他 | 供电电压 | AC220V,50Hz | 整机尺寸 | 600mm× 300mm× 470mm |
整机功率 | 1.5kw | 整机重量 | 40kg |
沪公网安备 31011502008050号
