高温快速热退火炉应用:
l SiC(GaN)电力设备的氧化膜形成过程的研究和退火;
l 半导体的研究和开发过程;
l 玻璃基板、陶瓷、符合材料的热处理;
l 陶瓷材料的热冲击试验;
l 烧结高熔点金属材料的各种热处理测试;
l 作为温度梯度炉使用;
l 可用作气体分析的加热炉;
高温快速热退火炉仪器参数
型号:
温度范围:
样品尺寸:
加热氛围:
热电偶:
电源要求:
HT-RTA59HD
室温~1800℃
W15mm×L15mm×T1mm
氮气流
B型热电偶(W-Re可选)
AC 200 V 40 A 8 kW
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