美国API 激光干涉仪

激光干涉仪

激光干涉仪，关键字是激光和干涉。
干涉（interference）是两列或两列以上的波在空间中重叠时发生叠加从而形成新的波形的现象。对光源有一定的要求，而激光的三个特性能够较好的发生干涉。
所以就出现了用激光干涉实现某种应用的仪器。
一般性应用都是测面型，距离，速度等。
因为两束满足特定要求的激光能够产生干涉条纹，而两束光的相差导致干涉条纹的能量分布发生变化。通过采集干涉条纹的能量，反计算相差从而计算出被测物的局部面型变化，或者位置变化。
具体分类可分单频和双频。常见的光路基本结构有傅里叶，法波等，基本上就是双光束干涉或者多光束干涉原理。

技术参数：
5D/6D标准型： 
1. 线性：0.5ppm 
2. 测量范围：40米（1D可选80米） 
3. 偏摆角和俯仰角的精度：（1.0+0.1/m）角秒或1%显示较大值 
4. Z大范围：800角秒 
5. 滚动角精度：1.0角秒 
6. 直线度精度：（1.0+0.2/m）um或1%显示较大值 
7. Z大范围：500um 
8. 垂直度精度：1角秒 
9. 温度：0.2摄氏度 
10.湿度：5% 
11.压力：1mmHg 

5D/6D精密型： 
1. 线性：0.2ppm 
2. 测量范围：25米 
3. 偏摆角和俯仰角的精度：（0.5+0.05/m）角秒或1%显示较大值 
4. Z大范围：400角秒 
5. 滚动角精度：0.5角秒 
6. 直线度精度：（0.5+0.1/m）um或1%显示较大值 
7. Z大范围：300um 
8. 垂直度精度：0.5角秒 
9. 温度：0.1摄氏度 
10.湿度：3% 
11.压力：0.3mmHg 

5D/6D高精密型： 
1. 线性：0.2ppm 
2. 测量范围：根据用户要求而定 
3. 偏摆角和俯仰角的精度：（0.2+0.02/m）角秒 
4. Z大范围：500角秒 
5. 滚动角精度：0.5角秒 
6. 直线度精度：（0.2+0.05/m）um 
7. Z大范围：100um 
8. 垂直度精度：0.5角秒 
9. 温度：0.1摄氏度 
10.湿度：3% 
11.压力：0.3mmHg

主要特点：
1. 同时测量线性定位误差、直线度误差（双轴）、偏摆角、俯仰角和滚动角 
2. 设计用于安装在机床主轴上的5D/6D传感器 
3. 可选的无线遥控传感器Z长的控制距离可到25米 
4. 可测量速度、加速度、振动等参数，并评估机床动态特性。 
5. 全套系统重量仅15公斤，设计紧凑、体积小，测量机床时不需三角架 
6. 集成干涉镜与激光器于一体，简化了调整步骤，减少了调整时间